開発蒸着装置 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

改善成功事例3　有機材料開発用蒸着装置　

改善成功事例　事例3　有機材料開発用蒸着装置　KVD-OLED Evo.Cluster

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。 しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、 問題が多々発生している。（搬送トラブル・蒸着セルの材料枯渇スピードが 早い・蒸着レートコントロールが困難など）そこで、コンパクトであるが、 最低限、既存装置の仕様を盛り込み、スペックを更にアップした装置が欲しい。