改善成功事例3 有機材料開発用蒸着装置
改善成功事例 事例3 有機材料開発用蒸着装置 KVD-OLED Evo.Cluster
◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。 しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、 問題が多々発生している。（搬送トラブル・蒸着セルの材料枯渇スピードが 早い・蒸着レートコントロールが困難など）そこで、コンパクトであるが、 最低限、既存装置の仕様を盛り込み、スペックを更にアップした装置が欲しい。
- 企業：北野精機株式会社
- 価格：応相談
