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電子ビーム描画システム - メーカー・企業と製品の一覧

電子ビーム描画システムの製品一覧

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株式会社PARAM 会社案内

超高速電子ビーム描画技術・要素技術の開発・製造・コンサルティング!微細加工技術を通して社会に貢献

株式会社PARAMは、電子ビームを用いたウェハ直接描画に使用する並列型 マルチコラム・マルチビームを用いた電子ビーム技術開発会社です。 近い将来、微細加工技術は5nm以下が必要とされ、用途は人工知能チップはじめ 多くの分野で、開発から量産技術として必要とされています。 当社は各種電子ビーム要素技術と関連技術で皆さまのお役に立てるように 精一杯尽力いたします。 【事業内容】 ■真空用オゾン供給器・除外器の製造販売 ■電子ビームコラムの設計・製造・開発受託 ■電子ビーム制御用電子回路の開発受託 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 電子ビーム描画装置
  • その他電子部品
  • 製造受託

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