電子ビーム高速描画システム
クラスタ化により100WPHも実現可能。ステップアンドショット方式の露光を行います
PARAMでは『電子ビーム高速描画システム』を取り扱っております。 当社が提案する「マルチコラムマルチビーム方式」の製品は、 マトリクス状に形成された微小開口と偏向電極からなるPSAにより PSBを生成するマルチビーム方式を採用し、ステップアンドショット方式の 露光を行います。 そのため、ステージ連続移動方式に比べ、高い描画精度が期待できます。 【特長】 ＜マルチコラムマルチビーム方式 Multi-axis PSB＞ ■ピッチ26×33mmで87本のマルチコラムを実現 ■スループットは、描画パターンのサイズ・ピッチに依存：10～16WPH ■クラスタ化により100WPHも実現可能 ■ステージ連続移動方式に比べ、高い描画精度が期待できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社PARAM
- 価格：応相談
