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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．試料と評価方法 ３-１．結晶性の変化 ３-２．結晶配向の解析 ３-３．面内結晶配向の解析 ４．まとめ ５．謝辞 ６．おわりに
アズサイエンスおすすめの電子顕微鏡、光電子分光装置、内斜系実体顕微鏡のご紹介
アズサイエンスおすすめ商品の3製品をご紹介いたします。 ◆日本電子株式会社 JEM-1400Flash 電子顕微鏡 高感度sCMOSカメラや超広視野モンタージュシステム、さらには光学顕微鏡画像と電子顕微鏡のリンク機能を拡張させた透過電子顕微鏡です。バイオロジーからナノテクノロジー、ポリマー、最先端材料など幅広い分野で活用されています。 ◆日本電子株式会社 JPS-9030 光電子分光装置(XPS) カウフマン型エッチングイオンソースやツインアノードを標準装備の上、汎用XPSでありながら高温加熱システムやガスクラスターイオンソース等幅広い拡張性も備えています。大学から工場まで幅広く稼動し、材料の研究開発、また品質管理の現場において汎用性の高い分析手法として利用されています。 ◆株式会社ニコンソリューションズ 内斜系実体顕微鏡 SMZ445/460 ニコンの最先端実体ズーム顕微鏡シリーズと同様の優れた光学性能を備えています。樹脂成型品、金属加工部品などの検査‧観察に適した実体顕微鏡です。部品検査や品質管理などのニーズにお応えします。
化学結合状態分析、バイオロジーからナノテクノロジー・ポリマー・最先端材料分野、電機・電子・自動車・機械・化学・薬品分野の研究等
様々な分野で活躍できる、日本電子株式会社の商品を3つご紹介いたします。 ご興味のある方はお気軽にお問い合わせください。 〇JPS-9030 光電子分光装置(XPS) 「誰もが、簡単に、直ぐに使えること」を実現した汎用型XPSです。カウフマン型エッチングイオンソースやツインアノードを標準装備の上、汎用XPSでありながら高温加熱システムやガスクラスターイオンソース等幅広い拡張性も備えています。 〇JEM-1400Flash 電子顕微鏡 高感度sCMOSカメラを標準搭載し超広視野モンタージュシステムや光学顕微鏡画像リンク機能などの強力な新機能を組み込んだ透過電子顕微鏡です。 〇JCM-7000 NeoScope ネオスコープ 卓上走査電子顕微鏡 誰でも観察・分析ができることを目指した卓上走査電子顕微鏡です。前処理不要な低真空モード、視野探しのためのステージナビゲーションシステムを備え簡単に使えます。光学像からSEM像にそのまま移行できるZeromag、観察しながら元素分析できるLive Analysis、SEM観察中に三次元観察が可能なLive 3D等の機能を搭載しました。
