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信頼性の高い、長寿命のESC用高圧電源。
ESC 電源はシリコンウェハの静電吸着に用いるDC 電源です。 真空チャンバー内に高電圧を入力することにより、シリコンウェハと セラミックスプレートの間に静電引力を発生させます。 【特徴】 ■ HV 出力の極性反転 ■ プロセス中に発生するサージやアークからの保護 ■ 短絡・開放保護回路により信頼性が向上 ※詳細は添付PDFの参照、及びお気軽に弊社宛に直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389
既存の静電チャックへ対応できる様に設計され、極性反転機能と自動放電機能を搭載した電源。
『PHV シリーズESC 電源』は極性反転機能と自動放電機能があり、ウェーハのチャック解除特性を改善する電源です。既存の静電チャックへ対応できる様に設計され、小型軽量、更に蓄積エネルギーが低く電流制限が組み込まれている為、サージやアークからプロセスを保護します。又、Johnson-Rahbek及びクーロンタイプのESCアプリケーションの両方に適しています。 【特徴】 ■ 既存の静電チャック対応への設計 ■ 小型軽量 ■ 蓄積エネルギーが低い ■ 極性反転機能と自動放電機能付き ■ ウェーハのチャック解除特性を改善 ※詳細は添付PDFの参照、及びお気軽に弊社宛に直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389
