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圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計
『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、 制御などにご使用いただけます。 【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ■CEマーキング、RoHS対応 ■耐熱温度80℃/250℃のケーブルもご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性に優れています
『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。 オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ（オプション）のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを 2点標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いたします
『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の 搭載により大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。 【特長】 ■圧力レンジは自動切換 ■圧力及び種々のメッセージが液晶表示 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを2点標準装備 ■記録計用出力として、D/A 出力を標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
