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1000℃以上の超高温でも優れた寸法安定性と温度再現性を実現！先端技術使用のＰＢＮとＰＧの複合体
Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、 電気絶縁性の熱分解窒化硼素（PBN）と導電体である熱分解黒鉛（PG） の先端技術を使用した複合体です。 高純度で、高温下でも脱ガスが非常に少ない特長は、 高温での化学的気相蒸着から生み出されています。 高い熱伝導性と異方性は優れた面内均熱性をもたらしています。 【特長】 ■超高温対応（1500℃） ■寸法安定性と電気的安定性 ■ヒータ面内で温度勾配をつけることができる ■急速昇降温に対応 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消！
『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑えられる為、裏面のゴミ吸着はなし ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低コスト、高性能、多用途、カスタマイズ可能な 静電チャックです！
静電チャックに関する開発力を基にしてコストを減らし、合理的な価格で高品質の静電チャックを販売しております。更に、顧客の要請がある場合は静電チャックのカストマイズも行っております。 サムスンディスプレイ、LGディスプレイ、BOE等の世界的な大手企業の工場に納品をした経験があり、今も持続的に取引を行っております。 静電チャックはディスプレイに限らず、色んな産業の工程に適用可能な装備部品です。どうか気軽くご連絡ください。
