静電チャックとは、静電気の力で被加工物を固定する装置です。半導体製造や真空装置で使用され、機械的なクランプを必要としません。微細な位置決めや平坦保持が可能で、繰り返し使用できます。電極構造や材質によって吸着力が異なります。
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新発想のケーブルレス静電チャック
静電キャリアとは、ケーブルレスでの対象物吸着を実現し、搬送工程の簡略化・効率化を図るツールです。 一般的な静電チャックは電圧供給時に対象物を吸着し、電圧を遮断すると対象物が外れる仕組みのため、使用する際は静電チャック本体を常時電源に接続しておかなければなりません。すなわち、長距離の搬送、大気環境から真空チャンバーへの移動、回転機構での使用など用途によっては適さないケースも存在します。 一方、静電キャリアは静電チャックの特長を応用した新しい吸着方式であり、対象物の脱着時にこそ電源との接続を必要とするものの、吸着を維持する際には電圧供給を必要としないため、電源から切り離して使用することが可能です。静電キャリアは、これまで両面テープやクランプ方式が採用されていた工程の自動化・効率化・ランニングコスト削減に貢献します。
基材、電極、吸着面、接着剤すべてに透明素材を採用し、高い透明度を実現した静電チャック
基材、電極、吸着面、接着剤すべてに透明素材を採用し、高い透明度を実現した静電チャックです。バックライト照明を用いた透過検査や全方位からの外観検査、目視でのアライメント合わせが必要な工程等に適しています。
1000℃以上の超高温でも優れた寸法安定性と温度再現性を実現！先端技術使用のＰＢＮとＰＧの複合体
Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、 電気絶縁性の熱分解窒化硼素（PBN）と導電体である熱分解黒鉛（PG） の先端技術を使用した複合体です。 高純度で、高温下でも脱ガスが非常に少ない特長は、 高温での化学的気相蒸着から生み出されています。 高い熱伝導性と異方性は優れた面内均熱性をもたらしています。 【特長】 ■超高温対応（1500℃） ■寸法安定性と電気的安定性 ■ヒータ面内で温度勾配をつけることができる ■急速昇降温に対応 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
静電チャック×協働ロボット「DOBOT」
【無料お見積もり受付中・お試し操作体験が可能！】 弊社は協働ロボットグローバルブランド「DOBOT Robotics」の国内正規代理店です。DOBOTは、教育から産業、商業まで幅広い分野で活用されており、特に使いやすさ・安全性・コストパフォーマンスに優れた協働ロボットとして世界中で注目されています。ロボット単体はもちろん、弊社静電チャックや搬送ツールと組合わせたセットでの販売をおこなっております。株式会社クリエイティブテクノロジーでは、様々なワーク搬送に対して豊富な知識と取り扱い実績がございます。初めて自動化をご検討する場合も、ご要望にあわせたグリッパーのご紹介が可能です。
