静電チャックとは、静電気の力で被加工物を固定する装置です。半導体製造や真空装置で使用され、機械的なクランプを必要としません。微細な位置決めや平坦保持が可能で、繰り返し使用できます。電極構造や材質によって吸着力が異なります。
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1000℃以上の超高温でも優れた寸法安定性と温度再現性を実現！先端技術使用のＰＢＮとＰＧの複合体
Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、 電気絶縁性の熱分解窒化硼素（PBN）と導電体である熱分解黒鉛（PG） の先端技術を使用した複合体です。 高純度で、高温下でも脱ガスが非常に少ない特長は、 高温での化学的気相蒸着から生み出されています。 高い熱伝導性と異方性は優れた面内均熱性をもたらしています。 【特長】 ■超高温対応（1500℃） ■寸法安定性と電気的安定性 ■ヒータ面内で温度勾配をつけることができる ■急速昇降温に対応 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
半導体用静電チャック投資分析情報2026：1434百万米ドル規模への成長戦略を解説
半導体用静電チャックとは 半導体用静電チャック（ESC）の世界市場は、2025年の約13億2,400万米ドルから2026年には約14億3,400万米ドルへ拡大し、2026～2032年は年平均成長率（CAGR）5.8%で推移、2032年には約20億1,600万米ドルに達すると予測される。2025年の世界生産量は約5万7,485台、平均価格は約2万3,030米ドル/台、生産能力は約7万4,000台、業界平均粗利益率は39.8%だった。半導体用静電チャックは、PVD、PECVD、エッチング、EUV、イオン注入などの前工程装置でウェーハを静電吸着し、位置決めと温度制御を担う重要部材である。
