薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消！
『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑えられる為、裏面のゴミ吸着はなし ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
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基本情報
【ラインアップ】 ■SP0510CL-10(コードレスタイプ) ■SP-SCL-100(セミコードレスタイプ) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
筑波精工株式会社は、主に静電吸着システムの開発・製造・販売を行っている会社です。当社の静電チャックが、皆様の技術革新歩留まりアップ生産効率改善のお役にたてるよう、試作品から量産品まで、お客様要求仕様にあわせ1Pから製作対応致しますので、お気軽にお問い合わせ下さい。