静電チャックとは、静電気の力で被加工物を固定する装置です。半導体製造や真空装置で使用され、機械的なクランプを必要としません。微細な位置決めや平坦保持が可能で、繰り返し使用できます。電極構造や材質によって吸着力が異なります。
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ファクトリーオートメーション用ロボット「ZEUS ZERO」シリーズ
ファクトリーオートメーション用ロボット「ZEUS ZERO」シリーズは、豊富なバリエーションと低コスト化の実現により、すでに国内外の多くの企業に導入されています。クリエイティブテクノロジーは韓国 ZEUS社の正規代理店として、日本のお客様に対しファクトリーオートメーション用ロボット「ZEUS ZERO」シリーズをご提案してまいります。 初めて自動化・省人化をご検討する企業や工場に向けた、「静電チャックとロボットの一括提案」や、ロボット単体での販売をサポートいたします。 まずはお問い合わせフォームよりお気軽にご相談ください。
半導体用静電チャック投資分析情報2026：1434百万米ドル規模への成長戦略を解説
半導体用静電チャックとは 半導体用静電チャック（ESC）の世界市場は、2025年の約13億2,400万米ドルから2026年には約14億3,400万米ドルへ拡大し、2026～2032年は年平均成長率（CAGR）5.8%で推移、2032年には約20億1,600万米ドルに達すると予測される。2025年の世界生産量は約5万7,485台、平均価格は約2万3,030米ドル/台、生産能力は約7万4,000台、業界平均粗利益率は39.8%だった。半導体用静電チャックは、PVD、PECVD、エッチング、EUV、イオン注入などの前工程装置でウェーハを静電吸着し、位置決めと温度制御を担う重要部材である。
