高圧アニール装置 - 企業1社の製品一覧

高圧アニール装置

高圧アニール装置

LCD用低温ポリシリコンTFT基板や半導体ウェハの素子特性を向上させ、均一化するための装置です。 従来は1300℃で熱酸化させていた工程を、この装置では水蒸気で加圧加熱することにより600℃以下の低温で同じ効果を得ることができます。

• 企業：株式会社協真エンジニアリング 本社
• 価格：応相談

• その他加工機械
• アニール炉