高真空排気装置 TPSシリーズ/DPSシリーズ
ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップ
高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応。ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップを有しており、補助ポンプも油回転及びドライポンプの選択が可能です。お客様のニーズに合わせた選択を可能とした高真空排気システムです。
- 企業:佐藤真空株式会社
- 価格:応相談
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ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップ
高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応。ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップを有しており、補助ポンプも油回転及びドライポンプの選択が可能です。お客様のニーズに合わせた選択を可能とした高真空排気システムです。
コンパクトにユニット化
真空機器に容易に接続できる高性能の高真空排気装置 【特徴】 ○AC100Vで使用可能。 ○安全回路により油回転ポンプと油拡散ポンプを保護。 ○油拡散ポンプとコールドトラップにて高真空領域まで排気。 ○空冷式、水冷式よりお選びいただけます。 ○主弁フランジ上向き仕様製可能(オプション) ○オプションで各種真空計を準備。 ○ターボ分子ポンプ仕様のDS-Tシリーズもございます。 ○DS-612Z(水冷)も製作可能です。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。
走査型プローブ顕微鏡用の様々な超高真空排気装置をご用意しております
各種SPM用超高真空排気装置、ボルトオン型SPM用超高真空排気装置(後日前処理室拡張可能/試料前処理室付き)、LT-SPM用超高真空排気装置(試料前処理室拡張可能)、Cryogenic型SPM用超高真空排気装置など、様々なタイプの超高真空排気装置をラインナップ。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。