高真空蒸着装置『RD-1230』
サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能!排気操作は全自動です
高真空蒸着装置『RD-1230』は、ぺロブスカイト太陽電池電極作成用 小型蒸着装置です。 抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、 電流値の調整が可能です。 排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。 水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては 高性能な成膜制御が可能です。 【特長】 ■ロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置 ■抵抗加熱機構を2対装備、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の 調整が可能 ■排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動 ■水晶振動式膜厚計もオプションで付けることが可能 ■卓上型タイプとしては高性能な成膜制御が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社サンバック 本社
- 価格:応相談