サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動です
高真空蒸着装置『RD-1230』は、ぺロブスカイト太陽電池電極作成用 小型蒸着装置です。 抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、 電流値の調整が可能です。 排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。 水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては 高性能な成膜制御が可能です。 【特長】 ■ロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置 ■抵抗加熱機構を2対装備、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の 調整が可能 ■排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動 ■水晶振動式膜厚計もオプションで付けることが可能 ■卓上型タイプとしては高性能な成膜制御が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■到達圧力：×10^-5Pa台 ※常温・無負荷・脱ガス時 ■排気速度：大気圧から30分で2.0×10^-4Pa ※常温・無負荷・脱ガス時 ■真空室径：φ230mm×240mmH 硬質ガラス ■蒸着機構：抵抗加熱方式 ・AC電源2極（切替式）：金属用 ・AC電源：12V0～45A/7V0～80A ■基板形状：□100mm以内ご希望形状 ■真空排気系 ・油回転ポンプ：50L/min［50Hz］ ・ターボ分子ポンプ：67L/sec ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
1995年創業の真空装置メーカー。25年以上、各薄膜装置・熱処理炉・溶解炉・乾燥炉を中心に「一品一様のカスタマイズ装置」を設計製作しております。 お客さまからのご要望に応じてご提案いたしますので、まずはご要望を「全て」お伺いいたします。