高精度回転モジュール - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

非接触エアベアリング技術採用の高精度回転モジュール A-60x

摩擦ゼロで超高精度回転を実現するエアベアリングモジュール

A-60x PIglide RTは、非接触のエアベアリング技術を採用した高精度回転モジュールです。摩擦が発生しない構造のため、スティックスリップやブレークアウェイトルクがなく、極めて滑らかな回転運動を実現します。 偏心・平面度は200nm以下の高精度性能を持ち、高剛性設計により精密計測や光学アライメントなどの用途に最適です。さらに潤滑油を使用しないためメンテナンス不要で、パーティクル発生がなくクリーンルーム環境でも使用できます。 モーターやエンコーダと組み合わせることで、高精度回転ステージとして柔軟なシステム構築が可能です。