摩擦ゼロで超高精度回転を実現するエアベアリングモジュール
A-60x PIglide RTは、非接触のエアベアリング技術を採用した高精度回転モジュールです。摩擦が発生しない構造のため、スティックスリップやブレークアウェイトルクがなく、極めて滑らかな回転運動を実現します。 偏心・平面度は200nm以下の高精度性能を持ち、高剛性設計により精密計測や光学アライメントなどの用途に最適です。さらに潤滑油を使用しないためメンテナンス不要で、パーティクル発生がなくクリーンルーム環境でも使用できます。 モーターやエンコーダと組み合わせることで、高精度回転ステージとして柔軟なシステム構築が可能です。
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基本情報
・モーションプラットフォーム直径：50 ～ 300 mm ・最大耐荷重：425 kg ・偏心度 / 平面度：200 nm 以下 ・摩擦：ゼロ（エアベアリング） ・取り付け方向：水平 / 垂直 ・メンテナンス：不要 ・クリーンルーム対応 ※エンコーダやマウントベースなど各種オプションに対応。 ※詳細仕様（応答速度、共振周波数、耐荷重など）はお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
・光学アライメント ・精密計測（メトロロジー） ・部品検査 ・校正装置 ・スキャニング装置 ・トルク測定
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
