X線検査装置【TRI社】 TGV、Cuピラーの欠陥を高精度検出
電子実装・半導体向けAXI市場で高い採用実績
TGV、Cuピラーをはじめ微細化の進む半導体製造工程上の欠陥検出は、歩留まり向上のために必要とされながらも、既存の光学検査では限界があります。 TRI社のX線装置は半導体向けAXI市場で豊富な実績を持ち、最大解像度2µm・最大1000CTスライスの高性能で微細な検査ニーズにもお応えします。 ■主な検査対象 ・AI Cuピラー検査 ・TGV 3D AXI 検査 ・C4バンプ検査 ・SiP 3D AXI 対応 ■主なメリット ・最大解像度：2µm ・X線出力：最大110kv ・大型基板検査対応 ・ソフトウェア上で線量制限・推定が可能 ・AIによる初期調整・微調整 ご紹介のTR7600F3D SII Plus以外の機種もご相談承ります。お気軽にご相談ください。
- 企業：株式会社進和 メカトロシステムセンター
- 価格：応相談
