大気圧プラズマ装置 ILP-Inlineシリーズ
独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生!
半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板等の大型ワーク(ガラス基板等)の量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現!
- Company:株式会社ウェル
- Price:応相談
Last Updated: Aggregation Period:2025年08月27日~2025年09月23日
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独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生!
半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板等の大型ワーク(ガラス基板等)の量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現!
「大気圧プラズマの発生メカニズム」や「大気圧プラズマ装置の特長」などを掲載!
当資料は『大気圧プラズマ発生装置』について掲載しています。 大気圧プラズマ装置の新型プラズマヘッドを開発し、従来に比べ優れた プラズマを発生させる表面処理装置は、密着しにくい材質の密着向上・ 浸水性向上・洗浄効果向上等のドライプロセスに効果を発揮できます。 是非、ご一読ください。 【掲載内容(一部)】 ■プラズマとは? ■大気圧プラズマの発生メカニズム ■印刷向上のための大気圧プラズマ処理 ■大気圧プラズマ装置の特長 ■プラズマ処理効果の確認方法(接触角度測定) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
2 次元表面の高速、高効率、広範なインラインプラズマ処理に最適なソリューションを提供します。
ドイツDiener(ディエナー)社の大気圧プラズマ装置は、プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化します。 そのプラズマをエアーの気流で大気中に照射し、対象製品のクリーニングや親水性改善を行います。ガス源にはアルゴンガスやヘリウムガスを使用せず、圧搾エアーを使用するため、ランニングコストの削減も可能です。 Diener 社の革新的製品である PlasmaBeam RT は、2 次元表面の高速、高効率、広範なインラインプラズマ処理に最適な大気圧プラズマ装置です。 PlasmaBeam RT は既存の生産ラインに容易に組み込むことができ、各種部品や材料の自動洗浄・活性化を可能にします。 運転中に高速回転する 2 つの相補的に配列されたノズルが特徴で、Diener 社大気圧プラズマシステムの安定した品質と効果で、最大 120mm までのプラズマ処理幅を可能にします。
従来比50%の性能UP!低N2消費(約45%削減)の大気圧プラズマ装置
大気圧プラズマ装置 「Preciseシリーズ」は、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。 これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になりました。 また、ワークが帯電した状態でも除電され、処理後の気中のパーティクル付着もありません。 【特徴】 ○低温処理 ○ダメージフリー ○ESDフリー処理手前でのイオナイザー装置が不要 ○2年間メンテナンスフリー ○小型軽量(他社比較:約体積比率1/2以下、約重量比率1/3以下) ○半永久的長期寿命の誘電体電極 ○パーティクルフリー ○幅広ワークへの均一処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ダメージフリー・パーティクルフリーの大気圧プラズマ装置
大気圧プラズマ装置「AP Plasma Precise II」は、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。 これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になりました。 また、ワークが帯電した状態でも除電され、処理後の気中のパーティクル付着もありません。 【特徴】 ○電極交換(誘電体部)不要 ○幅広処理(100ミリ~3000ミリ) ○ダウンストリーム型電極形式の為、処理面に対しダメージ発生がない。 ○2年毎のメンテナンスのみ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
CFRP、グラスファイバー、長尺繊維への表面処理
大気圧プラズマ装置Preciseシリーズは、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。 これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になりました。 また、ワークが帯電状態でも処理ごは除電され、処理後の気中のパーティクル付着はありません。 添加ガスを変えることにより、処理表面への官能基やOH基、アミン基等の結合分子の選択が可能で、次工程での接合条件の最適化が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
伝送ロスを低減するダイレクト接着技術・無電解メッキ前処理に!
大気圧プラズマ装置を利用した5G・6G向けプリント基板やFCCL製造プロセスに寄与します。 弊社の『Precise』はプラズマ発生部を処理部と分離されているため(ダウンストリーム型)、 処理方面にダメージを与えずに、分子結合を主体に表面に官能基・水酸基を付与することで、 液晶ポリマー(LCP)やフッ素樹脂へ、滑らかな表面のまま、ダイレクトに接着が可能です。 弊社プラズマ処理における接着・接合は分子結合を主体としいるため、 表面へのダメージや、プラズマによるUV光等からの科学的ダメージは全く無い処理が可能。 種々のフィルムへのダメージレスダイレクト接着のサンプルワークを実施しております。 弊社実験データでは、その接着強度は9N/cm(Cu/LCP)以上を実現。 Ni表面への接着強度向上に関しては表面にアミン基を配列することにより向上します。 これらの処理は添加ガスを変えることで簡便に実現できます。
大気圧プラズマ装置の「処理形態」や"当社独自の装置特長"などについてプラズマ装置の基礎から紹介!技術資料進呈
ここではコロナ処理や、アーク等を用いた装置ではなく、 完全なるバルクプラズマを発生させた大気圧プラズマ装置を主体に置き、説明しております。 特殊電極構造を用い、窒素ガス・希ガス等をベースに高周波電力を電極に印可し、 高密度プラズマを発生させることによりが生成された高密度の活性種が ワーク表面に官能基や水酸基、アミン基を付与し、 濡れ性や、塗布性能、有機物除去等の処理が可能になります。 添加ガスを変えることにより、選択的に付与される分子を生成され、 撥水化、還元等、薄膜体積、ドライエッチング等の処理が可能になります。 また、洗浄工程や、メッキ処理時前にプラズマ処理を行うことで、 処理表面を活性化し薬液との反応性を高め洗浄性能の向上や 気泡の除去等に役立ちます。 処理に関してワークの性格や、次工程への状況を踏まえ、 下記に纏める大気圧プラズマ装置選定時の最適化のご参考になれば幸いです。 また、接着材を用いない接着剤レス接着に関して、 銅箔との分子結合を主体とした接着技術が伝送ロスを低減し、 5G、6G向けのFCCL等の製造に寄与できるものと考えます。
大気圧プラズマ装置によるテフロン(PTFE・PFA)への超親水化、5度近傍(純水での接触角)に成功。
大気圧プラズマ装置による課題解決事例をご紹介いたします。 この度、フッ素樹脂(PTFE、PFA)への表面改質を 5 度近傍(純水での接触角)に成功しました。 従来 50 度近傍が最大値でしたが、 今回レシピ等の最適化等に伴い実現いたしました。 テフロン表面のC・Fの架橋をプラズマで切断後、それぞれに親水基または官能基で終端させることで 超親水化を実現しました。 今後、6G 向け FCCL 銅箔等へのダイレクト接着にも寄与すると確信しております。
【脱炭素ものづくり】接着・接合の前処理に大気圧プラズマ処理をご提案します。 AETP大気圧プラズマはオゾンの心配はありません。
脱炭素、サステナビリティとCSRへの取り組みの一環として、当社の大気圧プラズマ装置を活用した前処理をご提案します。 接着・接合をしっかりと確かなものにするために、材料表面の改質処理は重要で、製品の仕上がりにも影響を及ぼします。 通常気圧下で連続生産に使える大気圧プラズマ処理は、プライマーを製造現場から減らしていこうとお考えの企業に好適です。 また、オゾンの心配もないので、安心・安全にお使いいただけます。 エアープラズマAP-4000は固定式ヘッドで、線状に高速で処理することを得意としています。 AP-4000Rは回転式ヘッドが広い幅で材料を優しく処理するため、熱に敏感な材料を処理するのに適しています。 サンプル処理を随時承っておりますので、この機会に是非お声がけください。 ****************** 表面改質展2021に出展いたしました。 たくさんのご来訪ありがとうございました。 【会期】2021年12月1日(水)~3日(金) 10:00~17:00 【会場】東京ビッグサイト 西ホール H-10 (関東学院大学ブース内)
【脱炭素ものづくり】接着・接合の前処理に大気圧プラズマ処理をご提案します。 AETP大気圧プラズマはオゾンの心配はありません。
脱炭素、サステナビリティとCSRへの取り組みの一環として、当社の大気圧プラズマ装置を活用した前処理をご提案します。 接着・接合をしっかりと確かなものにするために、材料表面の改質処理は重要で、製品の仕上がりにも影響を及ぼします。 通常気圧下で連続生産に使える大気圧プラズマ処理は、プライマーを製造現場から減らしていこうとお考えの企業に好適です。 また、オゾンの心配もないので、安心・安全にお使いいただけます。 エアープラズマAP-4000は固定式ヘッドで、線状に高速で処理することを得意としています。 AP-4000Rは回転式ヘッドが広い幅で材料を優しく処理するため、熱に敏感な材料を処理するのに適しています。 サンプル処理を随時承っておりますので、この機会に是非お声がけください。 ****************** 表面改質展2022 【会期】2022年10月19日(水)~21日(金) 10:00~17:00 【会場】東京ビッグサイト 西1ホール H-07 (関東学院大学ブース内)
小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質に!実験用途に特化した大気圧プラズマ装置
『小型実験機タイプ』は、A4サイズ程度までの枚葉処理に対応する 大気圧プラズマ装置です。 リモート処理、ダイレクト処理どちらも使用可能。 実験用途に特化しており、扱いやすい半自動タイプです。 小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質などにご使用いただけます。 【特長】 ■小型装置 ■様々な処理に対応 ■実験用途に特化 ■対応サイズ:~A4(A4以上のサイズは別途ご相談下さい) ■Utility:電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
色調変化で簡便に目的通りの処理状況になっているかを可視化することができる!
「大気圧プラズマ用」のNo.40(超高感度)シート型を用いて、 トーチ型の大気圧プラズマ装置を使用した分布評価を実施します。 接着用途では、処理が「疎」の部分が多くても一通り処理が できていれば接着可能。そのため、効率的な処理を行うために ピッチを大きくし、「疎」の部分が多い処理となります。 接着用途の処理では「密」の部分のみが変色し、想定した処理が できていることを確認。また、コーティング用途の処理の時は全体が 薄いピンク色に変色し、均一な処理ができていることを確認できました。 【装置情報】 ■装置型式:AP-4000R ■ノズル型式:RN-041835-SU ■色差計:コニカミノルタ製蛍光分光濃度計 FD-9/MYIRO-9(測定光源C、照明系C光源、2°視野) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ポリマー素材や有機物、繊維、液体など、従来プラズマ処理が困難であった素材にも照射可能!
「大気圧プラズマ装置」は、真空容器や反応用ガスを充満させる等の特殊な 環境を必要としない、常圧大気中で発生させることができるプラズマ装置です。 当社のプラズマ電極は金属電極板間に誘電性絶縁物を設置することで アーク放電を防止し、電極全体から均等に電子が放出される現象を利用した、 “誘電体バリア方式"を採用しています。 また、"ダイレクト方式"と"ジェット方式"の2種類の照射方式の採用により、 様々なプロセスに対応可能です。 【特長】 ■常圧大気中で発生させることができる ■誘電体バリア放電式大気圧プラズマ ■2種類の照射方式の採用により、様々なプロセスに対応可能 ■主な用途 ・接着・塗布などの強度向上、表面改質、化学変化促進、新工法開発、実験など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。