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ベベル部近傍にて金属成分の定量的な評価が可能
半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点からウエハ裏面に残留する金属を除去することが求められており、金属成分の残留量を定量的に把握することが重要です。 ベベル部から500umの範囲で裏面に残留する金属濃度分布を調査するため、TOF-SIMSを用いて評価を行いました。TOF-SIMSはベベル部近傍のみの金属成分を検出する空間分解能を有しており、濃度既知の標準試料を用いることで濃度を定量的に算出することが可能です。
TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価
大気下におかれた金属銅（Cu）の表面は自然酸化膜で覆われており、このような銅表面は大別して「Cu」「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」の状態にわけられることが知られています。 市販の標準品である「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」粉末をTOF-SIMSにより深さ方向分析を行うことで、各状態に応じて特徴的な分子イオンの取得が可能であることがわかりました。 これらの分子イオンを用いて、金属Cu表面自然酸化膜の深さ方向の状態評価が可能となりました。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：ディスプレイ・LSI・メモリ・電子部品 分析目的：化学結合状態評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
質量スペクトルを可視化することで、より高精度な解析が可能です
有機EL(OLED)は高精細ディスプレイ向けパネルや照明用など多様な用途に用いられており、層構造解析や劣化解析のニーズが高まってきていますが、様々な有機材料を組み合わせて形成されているため、元素分析だけでは一部の現象しか捉えることができません。 本資料では、TOF-SIMSによりOLEDの深さ方向分析データを取得し、MSDM(Mass Spectra Depth Mapping)により解析した事例をご紹介します。
繊維表面の有機・無機成分の評価が可能です
TOF-SIMSは、着目の箇所を局所的に分析し、得られる質量スペクトルにより元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできるため、各工程における異物・汚れ・変色の原因究明に非常に有効な手段です。また、イメージ分析も可能なため、有機物の分子情報の可視化も可能です。 本資料では、繊維製品であるクリーンスーツの変色の解析結果をまとめます。TOF-SIMSによる定性結果から、変色部は皮脂である可能性が推測されました。
サブμmオーダーの異物、微小領域の定性・イメージ分析が可能
TOF-SIMSは、着目箇所を局所的に分析して得られる質量スペクトルにより元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時に可能なことから、異物や微小領域の評価に有効です。 本資料は、サブμmオーダーの微小領域の分析例をまとめます。 層構造の試料上にFIBでスパッタ加工を行ったサンプルを、TOF-SIMSで測定をしました。サブμmオーダーの微小領域を評価をすることが出来ています。
TOF-SIMSで培養皮膚に塗布した薬効成分の分布を可視化
TOF-SIMSは成分を分子イオンの質量から同定するため、蛍光物質などの標識が不要であり、その影響のないイメージングが可能です。また、断面イメージングにより、深さ方向への分布を評価ができます。 今回、三次元培養ヒト皮膚にインドメタシンのゲル製剤を塗布し、浸透した薬効成分の分布を可視化しました。その結果、インドメタシンは角層表面側に偏在していることがわかりました。また、深さ方向ラインプロファイル解析により徐々に細胞層側へ浸透している様子が観察できました。
1画素ごと、各層ごとに成分を同定することが可能です
今後需要が拡大する有機ELの信頼性向上のため、詳細な構造解析や状態分析、劣化原因の特定がさらに重要となります。TOF-SIMSとLC/MSを用い、層構造や材料を評価した事例をご紹介します。 TOF-SIMSにより、層構造と各層の成分情報を評価できました。TOF-SIMSで明らかになった質量Eの成分についてLC/MSおよび蛍光検出器による分析を行い、発光波長の評価と成分の構造を把握することができました。このように、TOF-SIMSとLC/MSを組み合わせた分析により、詳細な評価が可能です。
同一試料の分布評価と定量分析が可能
医薬品・化粧品の有効性・安全性試験において、近年動物実験代替法の開発が進められており、中でも三次元培養ヒト皮膚による試験方法が注目されています。 そこで本事例ではフランツセルを用いてインドメタシンの透過試験を行い、同一の皮膚試料に対してTOF-SIMSとLC/MS/MS測定を行いました。LC/MS/MSでは皮膚中濃度・皮膚透過量の定量をTOF-SIMSでは皮膚内の成分分布評価を行いました。 測定法：TOF-SIMS・LC/MS・クライオ加工・切削 製品分野：バイオテクノロジ・医薬品・化粧品 分析目的：組成分布評価・安全性試験 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
尿中のカテキン代謝物の定性、及び経時変化・個体差調査
高感度LC-MS（Q-TOF型）を用いることにより、生体試料中における代謝物のような低濃度成分の定性分析が可能です。生体内で付加や抱合などの代謝を受けた成分の検索や、経時変化や個体差の調査を目的とした試料間比較を行うことができます。高濃度カテキン飲料を摂取後に採尿し、カテキンの代謝を調査したところ、未変化体のカテキンと、代謝物のカテキン-グルクロン酸抱合体が確認されました。8人の尿中カテキン及び代謝物について、摂取後0.5～8時間の排泄量をプロットし、比較を行いました。
![[マスアレイ法]質量分析を利用した遺伝子解析法](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/a08/2000951282/IPROS94665599407979799577.jpeg?w=280&h=280)
遺伝子解析とは、DNAの塩基配列を読み取り、遺伝子の変異や働きを調べる方法です。
本手法では、塩基の質量の違いをMALDI-TOF-MSで分析し、DNA塩基配列を決定します。これにより SNP（一塩基多型）やINDEL（挿入/欠失）、CNV（コピー数多型）等を検出することが可能です。 一度に解析できる検体数や検出可能な遺伝子数が多いことが特徴です。 ? マルチプレックスPCRとMALDI-TOF-MSにより、最大で40種の変異箇所の同時解析が可能 ? 塩基（A/T/G/C）の検出に特化した質量分析が可能 ? 目的別に検出可能な標的遺伝子が予めデザインされている解析ツールを多数保有 ? 解析ツールのオリジナルデザインも可能
ウエハの汚染原因を推定することが可能です！
TOF-SIMSは、異物、付着物、汚れ、変色など、工程に起因する汚染の原因究明に非常に有効な手法です。 異物などの汚染から得られたマススペクトル情報を、汚染源候補の部品のマススペクトル情報と 比較することで、それら汚染源を推測することができます。 本資料では、Siウエハの異物とウエハ製造工程の中で使用する樹脂製チューブ4種を準備し、 そのマススペクトル情報を比較することで、異物がどの工程で使用する部品に 起因する汚染なのか評価しました。
オイルバックやグリースなど真空装置内の汚染原因を評価可能！
空間内の気体分子密度が低いという特徴を利用した真空装置は、 電子部品の製造工程における薄膜形成や表面分析など様々な用途で使用されます。 真空装置のチャンバーは閉ざされた空間のため、 微量の分子の存在が装置内の汚染を引き起こしやすく、汚染を抑制するために、 ポンプ・装置・試料など汚染源を特定する調査が必要です。 本資料では、真空装置内の汚染についてTOF-SIMSで調査した事例を紹介します。
微生物迅速同定の原理、方法、具体例および今後の課題と食品分野の応用例を紹介！
今日の食品製造は衛生管理された工場で行われており、異物の混入や 微生物汚染などの対策が重要な管理事項となっています。 包装・容器は、食品の特性を考慮した材質の高分子、金属および天然原料 （竹皮、木の葉など）が利用されています。必要に応じてガンマ線照射 などの殺菌処理がされ、微生物汚染を防止しています。 一方、食品材料に付着している微生物は、目視による検査ができず、 製品の充填後に増殖する可能性があります。 詳しい内容は、関連カタログよりご覧いただけます。 【掲載内容（一部）】 ■はじめに ■MALDI-TOF MS の概要と測定原理 ■MALDI-TOF MS による微生物の同定方法 ■今後の課題 ■食品業界での応用例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
質量分析装置ASTONを用いた様々な技術資料をご紹介します。
質量分析装置ASTONを使ったテクニカルノートをご紹介します。 ＜テクニカルノート一覧＞ 1. ASTON Technical Note_vol.2_空気中のクリプトン測定 2. ASTON Technical Note_vol.3_タングステンエッチング測定 3. ASTON Technical Note_vol.4_再現性 ※テクニカルノートは、随時追加してまいります。
リアルタイムでの精密質量解析が可能です
材料を加熱した際に材料から脱離する、あるいは熱分解により生成する ガスの挙動を解析することにより、材料へのガス吸着・化学吸着の 状態や材料の熱特性を把握することが可能です。 材料や製品は様々な条件にさらされることによってガスを発生します。 このガスは、場合によっては人体に影響を与えたり、製品の品質・性能に 不具合を引き起こしたりと、微量でもトラブルの原因になる場合もあります。 「infiTOF-UHV」を用いれば、高分解モードでの脱離ガス挙動把握が 可能になります。 【特長（infiTOF-UHV）】 ■マルチターンTOFアナライザ ■高分解能によるリアルタイム分析 分解能>30,000 ■ガス分析に好適 測定域 m/z 1～1,000 ■卓上サイズでどこでも設置・どこでも測定 ■駆動電源は100～230 VAC,500Wと場所を選ばず省エネを実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
イオン対試薬への適用！LC/MS用脱塩チューブ“ソルナックチューブ”を用いた分析例
界面に対して性質を変化させる界面活性剤は、1つの分子の中に「親水性」と 「親油性」の2つの部分構造をもっています。 界面活性剤の親水性部分には、極性が高い酸や塩基をもつことが多いので、 HPLC分析では、ドデシル硫酸ナトリウム（SDS）などのイオン対試薬を添加した 溶離液を用いることも可能。 試料として、陽イオン界面活性剤のテトラブチルアンモニウムクロリド、 セチルピリジニウムクロリド等の混合溶液を用いて、LC/MSの測定を行いました。 条件や分析結果の詳細は、カタログをダウンロードしてご覧ください。 【LC条件（一部）】 ■装置：Agilent 1200 ■流量：0.3 ml/min ■検出器：UV（215 nm） ■試料：各2.5 ppm溶液 ■注入量：5 μL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
LC/MS用脱塩チューブ“ソルナックチューブ”を使用！TFAを除去し、負イオン測定を実施
酸性化合物を逆相分配クロマトグラフィーにより分析する際、解離抑制のために 酸性移動相（分析種のpKaより2以上低いpHに設定）を用いることがあります。 通常LC/MSで使える酸性移動相としては、酢酸、ギ酸、トリフルオロ酢酸（TFA） などが一般的であり、低いpHで使用するならTFAが適しています。 しかし、TFAは酸性度が高すぎるために、分析種を負イオンで検出する場合、 ほぼ100%の確率でイオン化抑制を起こすと考えられます。 ソルナックチューブで溶離液中のTFAを除去し、負イオン測定を行いました。 条件や分析結果の詳細は、カタログをダウンロードしてご覧ください。 【LC条件（一部）】 ■装置：Agilent 1200 ■流量：0.3 ml/min ■検出器：UV（210 nm） ■試料：トリプトファン20ppm溶液 ■注入量：5 μL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【事例紹介】劣化生成物イオン種の同定
リチウムイオン電池（LiB）は電気自動車（EV）や多くの電子機器において重要なコンポーネントです。その品質はEVやその他のデバイスの性能に直接影響を与えます。本研究では、LiBのアノード劣化生成物の包括的な解析を行いました。イオン交換クロマトグラフィー（IC）と高分解能質量分析（HRMS）を組み合わせることで、劣化生成物の特定と構造解析を実施しました。 解析には、ICシステムと四重極質量分析装置を使用し、劣化生成物の高分解能フルスキャンMSおよびデータ依存MS/MSデータを収集し、成分抽出とデータベース検索を行いました。ソフトウェアを用いて成分抽出を行い、データベースを使用して構造同定を行いました。 結果として、劣化生成物の特定とその構造解析が成功し、LiBの性能向上に寄与する新たな知見が得られました。特に、HRMSデータを用いることで、未知の劣化生成物のイオン種の明確な同定が可能となり、LiBの品質管理と性能向上に大きく貢献することが示されました。 この研究は、LiBの劣化メカニズムの理解を深め、将来的な電池性能の向上に向けた重要なステップとなります。詳細はPDFをご覧ください。
世界の分析機器市場は精度と洞察力を再定義し、著しい成長を予測
世界の分析機器市場は、2022年に461億米ドルの実質的な規模を達成し、精度と洞察力を再定義する態勢を整えている。飛躍的な拡大を約束する見通しで、業界の専門家は、この市場が2031年までに839億米ドルの素晴らしい収益を生み出すと予測している。この急増予測は、2023年から2031年までの予測期間中に6.89％の顕著な複合年間成長率（CAGR）を意味する。 分析機器は、製薬、材料科学、環境モニタリングなど、多様な分野における科学的発見、産業革新、品質保証の基盤として機能している。これらのツールにより、研究者、エンジニア、専門家は分子レベルでの洞察を解き放ち、意思決定の進歩と精度を高めることができる。 応募方法は[PDFダウンロード]ボタンからご確認いただくか、関連リンクから直接ご応募ください。
