質量分析装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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質量分析装置 - メーカー・企業57社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

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質量分析装置のメーカー・企業ランキング

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  1. 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 東京都/試験・分析・測定
  2. アジレント・テクノロジー株式会社 東京都/試験・分析・測定
  3. ブルカージャパン株式会社 ダルトニクス事業部 微生物同定・菌株識別 神奈川県/試験・分析・測定
  4. 4 アトナープ株式会社 東京都/電子部品・半導体
  5. 5 LECOジャパン合同会社 東京都/試験・分析・測定

質量分析装置の製品ランキング

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  1. ICP質量分析装置「Agilent 8900 トリプル四重極」 アジレント・テクノロジー株式会社
  2. ガス分析用質量分析装置 ASTON Impact アトナープ株式会社
  3. 卓上型核磁気共鳴(NMR)分析装置『MQC+』 オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
  4. 4 大気圧イオン化質量分析装置『API-MS』 株式会社日本エイピーアイ
  5. 4 ICP質量分析装置「Agilent7900 ICP-MS」 アジレント・テクノロジー株式会社

質量分析装置の製品一覧

1~30 件を表示 / 全 213 件

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表面電離型質量分析装置『Phoenix TIMS』

10cpsから1nAまで低ノイズ!最高レベルのダイナミックレンジ

当社が取り扱う、表面電離型質量分析装置『Phoenix TIMS』を ご紹介いたします。 試料中のSr、Nd、Os、Pb、Uなどの同位体分析を行う装置。 大容量イオンポンプによる最高レベルの真空度とアバンダンス感度が 備わっております。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■大容量イオンポンプによる最高レベルの真空度とアバンダンス感度 ■10cpsから1nAまで低ノイズ、アンプ減衰時間0.2秒以下のATONAアンプ ■最高レベルのダイナミックレンジを持つイオンカウンティング検出器  (1~300万カウント以上) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高精度安定同位体比質量分析装置『SIRIX IRMS』

90°半径27cmの大型マグネット!高精度IRMSの新しいスタンダード

当社が取り扱う、高精度安定同位体比質量分析装置『SIRIX IRMS』を ご紹介いたします。 長寿命の独立可動式ファラデー検出器9個を標準搭載。 高感度で、高い質量分解能の光学設計を組み合わせた製品です。 また、m/z44、45、46、47、48、49の同時測定ができます。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■長寿命の独立可動式ファラデー検出器9個を標準搭載 ■90°半径27cmの大型マグネット ■m/z44、45、46、47、48、49の同時測定 ■ATONAアンプ:1e-^7Aから1e-^17Aまでのイオン信号を正確かつ  精度よく検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備!RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用

弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク/レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力いたします。 【特徴】  ・ハイクリーン化と歩留向上に貢献  ・検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能  ・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール  ・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用  ・機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備  ・洗浄面への洗浄液高速拡散  ・ウォーターマークレス乾燥 【用途】  ・フォトマスク/レチクル/マスクブランクスメーカーでの製品洗浄  ・半導体デバイスメーカーの露光前レチクル洗浄  ・半導体デバイスメーカー内製マスクライン(マスクショップ)での製品洗浄 【納入実績】  ・国内外マスクブランクス/フォトマスク/レチクルメーカー  ・国内外デバイスメーカー ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。

  • その他半導体製造装置
  • 質量分析装置

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【アプリケーション例】質量分析テクノロジーとデータ取得

最小レベルのイオンシグネチャでも再現性のある結果を得ることができます!。総合カタログと事例資料を進呈中

質量分析テクノロジーとデータ取得のアプリケーション例について ご紹介いたします。 質量分析では、データキャプチャは大変困難なものですが、適切に設計 されたデジタイザを使用することで、その課題を大幅に軽減し最小レベルの イオンシグネチャでも再現性のある結果を得ることが可能。 MS(Mass Spectrometry)システムは、物質サンプルの化学組成の基本的な 分析を可能にします。これは、その高い特異性と定性的および定量的能力に おいて高く評価されています。 【概要(抜粋)】 ■Mass Spectrometry(質量分析) ■MSシステムの構成要素 ■MSシステムの要求性能 ■MSデジタイザ関連機能 ■低速応答システム ■高速応答システム ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

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【事例紹介】LC-qMSによる36種ポリフェノール類の一斉分析

健康食品や飲料中のポリフェノール類を、マトリックスの影響を受けずに高感度・高選択的に一斉分析!

この技術資料では、飲料や健康食品中に含まれるポリフェノール類を、他の成分の影響を受けずに高感度に一斉分析した事例をご紹介します。分析には1.5 µmのソリッドコア粒子カラムを使用し、10分以内のグラジエント条件で36種類のポリフェノールを分離しました。各ポリフェノール類の標準試料を用いて検量線と検出下限を確認したところ、決定係数0.997以上の良好な直線性と、数ng/mLの検出下限を達成しました。また、複数の健康食品や飲料に対する添加回収試験では、約100%の回収率を得られ、食品成分の影響を受けずに正確に定量できることが確認されました。このシステムは、ポリフェノール類のような類似した構造の成分も確実に分離・検出でき、分析時間の短縮と高い再現性を提供します。さらに、コンパクトな設計と操作の簡便さにより、ルーチン分析を効率化します。 【特長】 ■ 36成分のポリフェノール類を一斉分析 ■ 1.5 µmソリッドコア粒子カラムによる高分離 ■ 数ng/mLの検出下限と高感度 ■ 決定係数0.997以上の良好な検量線 ■ 約100%の添加回収率で、食品成分の影響を受けずに正確に定量

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フェノタイピング(表現型解析)システム_HyperAIxpert

ハイパースペクトルカメラ搭載可能。高解像度の表現型解析システム

LemnaTec社の「HyperAIxpert」 は、ラボ用のフェノタイピング(表現型解析)システムです。 シロイヌナズナ、苗、シャーレ、MTP など、様々なサンプルタイプに適応し、農業分野の研究開発に適しています。 HyperAIxpertのキャビネットには、可視光カメラ、ハイパースペクトルカメラ、マルチスペクトルカメラ、3Dレーザースキャナー、最大8 バンドの照明など複数機器を搭載することが可能です。 種子のスクリーニングや蛍光イメージング遺伝子型の研究、耐性反応など、研究室でのさまざまな測定 アプリケーションにご使用いただけます。

  • その他検査機器・装置
  • 質量分析装置

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改修・解体工事に伴うアスベスト工事時の粉じん測定

アスベスト工事時の粉じん測定なら測定実績と経験の豊富な当社におまかせください。

吹付けアスベストやアスベスト含有保温剤の除去工事の際、その近傍や屋外に、アスベストが飛散していないか確認する為に粉じん測定が義務付けられています。豊富な測定スタッフと測定器材にて迅速で柔軟な対応をお約束致します。

  • 受託測定
  • 質量分析装置

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最高レベルの分析スピードと最短の注入サイクル時間 LC/MS

サンプルスループットを向上!堅牢性やデータ品質を損なわずに、最高レベルの分析スピードと最短のサイクル時間を実現します。

『1290 Infinity II ハイスループットシステム』は、1290 Infinity II LCシステムをベースとして、堅牢性やデータ品質を損なわずに、最高レベルの分析スピードと最短のサイクル時間を実現します。 1290 Infinity II マルチサンプラは、最大16枚のマイクロタイタープレートを収容し、ハイスループットアプリケーションの要件に適合するように設計されています。 130MPa注入バルブとマルチウォッシュオプションの組み合わせにより、短いサイクル時間と最小のキャリーオーバーを容易に実現します。 【特長】 ■最高レベルのクロマトグラフィー性能、速度、互換性、柔軟性をもたらす ■45μLというきわめて低いディレイボリュームを兼ね備えている ■すべてのサンプルを効率的に冷却できる ■Agilent Max-Lightカートリッジフローセルを採用 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 分析機器・装置
  • 分離装置
  • 質量分析装置

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無駄のない精製プロセスを実現!自動スケールアップ分取LC/MSD

分析メソッドスカウティングから精製への直接スケールアップにより最大限の効率を実現

『1290 Infinity II 自動スケールアップ分取精製 LC/MSD システム』は、 分析スカウティングからグラムレベルのターゲット化合物精製へと直接 スケールアップできるワークフローソリューションです。 Automated Purificationソフトウェアにより、分析スケールから分取スケールへ精製メソッドを自動的に移管することも可能。 また、マストリガーが無駄のない精製プロセスを実現し、ラボの効率を 飛躍的に高めます。 【特長】 ■低ディレイボリュームによりピーク拡散とキャリーオーバーを最小化 ■高精度の回収率を維持しながら、幅広いフラクションサイズに対応 ■自動フラクションディレイセンサ技術を搭載し、化合物のロスをなくして採取フラクションの純度と回収率を向上 ■採取フラクションの自動再分析により精製状態を瞬時に確認 ■シングル四重極 LC/MSD が高純度フラクションの効率的な採取をサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 分析機器・装置
  • 分離装置
  • 質量分析装置

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ICP質量分析装置『NexION 1000』

独自技術の融合による最高の性能で、お客様の分析上の課題にお応えします!

『NexION 1000』は、日常業務として微量レベルの多元素分析を行うのに 理想的な高スループットなシステムです。 当社独自のUniversal Cell Technologyを備えており、シングルガスを用いた コリジョンモードとリアクションモードの切り替えにより、効率的な干渉除去 を実現します。 また、優れたスピードと操作性を提供するために独自の技術を多数搭載し、 従来にも増して分析業務の効率を高めます。 【特長】 ■強力な干渉除去能力 ■メンテナンスはほぼ不要のため高い稼働率 ■LumiCoilテクノロジーによるプラズマの生成には水やガスによる冷却が不要 ■収束効果の高いイオンビームを生成 ■非イオン成分を完全に除去 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 分析機器・装置
  • その他
  • 質量分析装置

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ICP質量分析装置『NexION 5000』

優れた安定性!従来のトリプル四重極システムと異なり、4段階の質量分解能を持っています

『NexION 5000』は、困難なアプリケーションに対処するために設計された、 真のトリプル四重極を搭載した革新的なマルチ四重極ICP-MSです。 高分解能形ICP-MSや従来のトリプル四重極ICP-MSを超えて、卓越したBECを提供。 従来のトリプル四重極システムと異なり、4段階の質量分解能を持っています。 また、RFコイルには水やガスによる冷却を必要としない、長寿命なLumiCoilを 採用しています。 【特長】 ■卓越したスペクトル干渉除去 ■優れた安定性 ■優れたマトリックス耐性 ■最小限のメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他
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  • 質量分析装置

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「タバコ煙 SPME-GCxGC-TOFMS」

「タバコ煙SPME-GCxGC-TOFMS」のスペシャルレポートです。

LECOジャパンでは、LECO社の分析装置でお客様の分析業務がより高精度化、効率化、安全性を図れるであろうサンプルをピックアップしスペシャルレポートとしてご案内いたします。是非ご覧ください。また、類似のサンプルに応用できるかがお知りになりたい場合は、気兼ねなくお問い合わせください。

  • その他計測・記録・測定器
  • 分析機器・装置
  • 質量分析装置

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【ライフサイエンス向け】質量分析装置(総合ラインナップ)

複雑な用途の分析に最適!高精度・高速そして使いやすさを兼ね備えた質量分析装置の総合ラインナップ無料ダウンロード!

LECOの機器は世界中で日々、今日における非常に複雑な試料の分析に使用されています。食品、香料、石油、環境問題、科学捜査、材料科学、メタボロミクスなど、いずれの分野の試料分析にも、皆様の要求に合わせた機器構成をご提供します。 LECO社の機器は、精度、処理速度、および使いやすさにおいて高い評価を得ています。品質方針は、ISO-9001:2008に認定されております。 【ラインナップ】 ○包括的二次元ガスクロマトグラフ飛行時間型質量分析装置「Pegasus 4D-C GC×GC-TOFMS」 ○ベンチトップタイプ飛行時間型質量分析装置「Pegasus BT 4D」 ○超高分解能ガスクロマトグラフ飛行時間型質量分析装置「Pegasus GC-HRT+4D」 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • 分析機器・装置
  • 食品試験/分析/測定機器
  • 質量分析装置

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飛行時間型質量分析装置『Pegasus BT GC-TOFMS』

データ、サイズ、価格のすべてにおいてスマート!

『ベンチトップGC-TOFMSシステムPegasus BT』は、新しく開発されたコンパクトなハードウェアと パワフルなChromaTOFブランドのソフトウェアの組み合わせにより、高い装置性能と包括的なデータを 日々の分析で得ることが出来ます。 食品の風味や香料・メタボロミクス・化学工業・フードセーフティなど、多くの分野で威力を発揮します。 ■メンテナンスフリーのイオン源で高い生産性 ■自動デコンボリューションで高品質なマススペクトル ■強化された感度と定量性により追加のターゲット分析不要 ◎詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 分析機器・装置
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「GC-MSによる土壌中の爆発性残留物の包括的分析」

「GC-MSによる土壌中の爆発性残留物の包括的分析」のスペシャルレポートです

LECOジャパンでは、LECO社の分析装置でお客様の分析業務がより高精度化、効率化、安全性を図れるであろうサンプルをピックアップしスペシャルレポートとしてご案内いたします。是非ご覧ください。また、類似のサンプルに応用できるかがお知りになりたい場合は、気兼ねなくお問い合わせください。

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「GCxGC-MSによる原油中のバイオマーカーの特定」

「GCxGC-MSによる原油中のバイオマーカーの特定」のスペシャルレポートです

LECOジャパンでは、LECO社の分析装置でお客様の分析業務がより高精度化、効率化、安全性を図れるであろうサンプルをピックアップしスペシャルレポートとしてご案内いたします。是非ご覧ください。また、類似のサンプルに応用できるかがお知りになりたい場合は、気兼ねなくお問い合わせください。

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卓上型核磁気共鳴(NMR)分析装置『MQC+』

研究開発や品質管理に好適!様々なサンプルのオイル、水、フッ素などを測定可能

『MQC+』は、コンパクトな卓上型核磁気共鳴(NMR)分析装置です。 少量のサンプルや高感度測定のアプリケーションに使用される 「MQC+23」をはじめ、「MQC+5」、「MQC+F」の3つのモデルをご用意。 数秒、長くても数分で分析結果が得られ、 簡単で迅速で正確な品質保証と研究開発を実現します。 【特長】 ■簡単なトレーニングで操作可能 ■非破壊分析 ■費用対効果 ■最小限のサンプル前処理 ■危険な溶媒や化学薬品が不要 ■迅速な分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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組成比勾配のあるSi(1-x)Gex 試料の定量化

2点の問題を解決するために濃度既知の試料を3点以上分析。

歪 Si デバイスに用いられる組成比勾配を持つ Si(1-x)Gex膜の深さ方向に 対するGeの濃度分布を正確に定量するのに SIMS(2 次イオン質量分析法)が 用いられます。 SIMS で Si(1-x)Gex 膜を分析する際に 2 点解決しなければならない問題があり、 1点目はSi に対する Ge の2次イオン強度が組成比の変化に伴い大きく変化 するので、組成比毎の相対感度因子を決定する必要があります。 もう一点は、Si と Ge の組成比が変化する事により分析点毎のスパッタリング レートが変化するので、組成比とスパッタリングレートとの関係を求める 必要があります。 この2点の問題を解決するために濃度既知の試料を3点以上分析し、RSF と スパッタリングレートが決定しました。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他
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化合物半導体系超格子サンプルにおける深さ分解能測定 事例集

化合物半導体系超格子サンプルを使用した深さ分解能測定の結果を掲載!

当事例集は、イオン注入、成膜・分析、研究・事業化マネジメントの サービスなどを提供している株式会社イオンテクノセンターの 深さ分解能測定の結果を掲載している事例集です。 Q-pole SIMS(アルバックファイ:ADEPT-1010)によって、 Al0.28Ga0.72As/GaAsを50nmずつ分子線エピタキシー(MBE)で成膜した 化合物半導体サンプルを試料として用いて、深さ分解を求めた結果を 掲載しています。 【掲載概要】 ■深さ分解能測定の結果 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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MBT STAR-BL アッセイ

質量分析による薬剤耐性検出アッセイ!簡単なワークフローなどを解説

MBT STAR-BL ソフトウェアモジュールは、MBT STAR-Carba および MBT STAR-Cepha キットと併せて使用することによって、 細菌内の β-ラクタマーゼ活性の分析で、信頼性が高く、迅速で費用対効果の高い分析を可能にします。 【掲載内容(一部)】 ■MBT STAR-BL アッセイ-簡単なワークフロー ■MBT STAR-Cepha キット ■MBT STAR-Carba キット ■MBT STAR-BL の分析-便利なキット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※本製品は研究用です。臨床診断目的には使用できません。

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MALDIバイオタイパー 抗酸菌ライブラリ

取得・解析したデータにMBT抗酸菌ソフトウェアモジュールを適用!

『MALDIバイオタイパー 抗酸菌ライブラリ』は、MALDI-TOF質量分析計を 通してより高い信頼性と迅速な抗酸菌の同定を必要とするラボに解決策 を総合的に提供します。 抗酸菌ライブラリ7.0は182菌種を収載。 1069株のうち584株は臨床分離株であり、抗酸菌の自然界での多様性をカバーしています。 さらに、取得・解析したデータにMBT抗酸菌ソフトウェアモジュールを適用し、 高感度に抗酸菌同定を行うことができます。 【特長】 ■MycoEX-好適かつ安全に抽出するプロトコール ■個体培地も液体培地も同じワークフロー ■国際マイコバクテリアコンソーシアムによる菌株カバレッジの向上 ■好適な抗酸菌同定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※本製品は研究用です。臨床診断目的には使用できません。

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フォトマスク洗浄装置(セミオート)

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

■国内マスク製造メーカー業界ではシェアー90%を誇ります。 ■「研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」に最適。 ■デバイスメーカ様では、「コンタクト露光時に付着したレジスト除去」に実績豊富 ■基板サイズごとにシリーズ化した標準装置ですが、カスタム対応も可能です。 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」  ◎スクラブや2流体処理時には、スキャン旋回機能が標準搭載  ◎DIW2流体ツールで、優れたパーティクル除去  ◎スクラブブラシは、ナイロン刷毛ブラシ or PVAブラシを基板表面状態で選択 ■各種オプションで多様なニーズに対応  ◎<洗剤の自動希釈><ブラシの自己超音波洗浄><CO2イオナイザー><MS洗浄> ■基板のC/C自動搬送処理装置にも対応実績豊富 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、マスク洗浄装置、ウエハ洗浄装置

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点検および保守契約

お客様の装置を最適な状態でお使いいただくために、さまざまなサービスパッケージをご用意しています。

いつでも最適なサポートを提供するために、カスタマーサポートのスペシャリストがお客様のお手伝いをします。装置の納入時から、設置、調整、装置性能のチェック、試験結果など、お客様の個々の測定ニーズにお応えするサービスを提供します。

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MALDI-TOFMSによる顔料、ポリマー分析

絶対値として質量数を検出!化合物の組成に関する情報を得る事が出来ます

当社では『MALDI-TOFMSによる顔料、ポリマー分析』を行っております。 「MALDI-TOFMS」では、顔料など不溶性であったり分子量が大きい物質の 分子量情報、合成ポリマーなどの分子量情報、末端基情報などを得る事が可能。 合成化合物の質量確認や、他の分析手法と組み合わせての構造解析など、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■マトリックス支援レーザー脱離イオン化質量分析法(MALDI法)採用 ■化合物の組成に関する情報を得る事が出来る ■GPCに対しては小さく、LCMSに対しては大きいようなポリマーの分析に好適 ■絶対値とし て質量数が検出される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【資料】質量分析ガイド

官能基や骨格構造など、様々な分析手法から情報を得て解析!質量分析ガイドをご紹介

当資料では、質量分析ガイドをご紹介しております。 有機化合物の分析では化合物が有する官能基、骨格構造、質量など、 様々な分析手法から情報を得て解析を行います。 化合物の質量を知る為の分析として様々な手法があり、それぞれ得意な 分析内容や対象があります。また、用途に合わせて使い分けたり、 他の分析手法と組み合わせて使うことで必要な情報を得る事が出来ます。 【掲載内容】 ■質量分析で主に用いられる手法  ・GC-MS  ・LC-MS  ・MALDI-TOFMS  ・GPC ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法

イオンを検出器で検出し、定性・定量をおこなう分析手法です

液体クロマトグラフィー(LC)は、クロマトグラフ法の一種に分類され、液体状のサンプルをクロマトグラフィーの原理により成分の分離を行います。ここで分離された成分の検出を質量分析計で行うものを液体クロマトグラフィー質量分析法(LC/MS)と言います。 LC/MSは有機化合物の定性・定量を行う分析手法です。 ・分子量が比較的大きいまたは極性が比較的高い成分の分析に有効 ・イオン化方法を選択することにより、熱に不安定な物質などにも対応可能 ・様々なイオン化法があり、成分に最適なイオン化法で検出することが可能(エレクトロスプレーイオン化法(ESI)・大気圧化学イオン化法(APCI)・大気圧光イオン化法(APPI)) ・Time-of-Flight法を利用した質量分析器により、高い質量分解能を得ることが可能

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[TG-DTA/TG-DTA-MS]示差熱天秤-質量分析法

サンプルを加熱することによって生じる重量変化・示差熱・熱量および揮発成分の質量を測定

TG-DTAは、加熱によって生じる重量変化(TG)、吸熱・発熱の熱挙動(DTA)を同時に評価します。 またTG-DTA-MSはTG, DTAの評価に加え、揮発成分の評価(MS)を連続して行います。 ・TGにより、%オーダーの重量変化を捉えることが可能 ・DTAにより、熱分解・融解・昇華・酸化・燃焼・相転移等の反応の知見を得ることが可能 ・MSにより、揮発成分や分解物の構造推定が可能

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【分析事例】SIMSによる酸化物ReRAM動作領域の元素分布評価

酸化物デバイスにおける局所元素分布を酸素同位体を用いて高感度に評価

酸化物ReRAMでは、電場印加に伴う酸素拡散がメモリ動作(抵抗変化)と関連しているとされていました。 SIMS分析では同位体を測定可能であるため、同位体18Oイオン注入技術を利用すれば、酸素拡散の追跡が可能となります。18Oを局所的に注入した素子に対し、電場印加により動作領域となるブリッジ構造を形成し、元素マッピングを行った結果、ブリッジ部では18Oの強度が弱く、局所的に還元されていることが分かりました。

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【分析事例】SIMSによるCIGS太陽電池の各層の相互拡散評価

表面の凹凸の影響を受けない高精度な測定が可能です

太陽電池では太陽光を有効に吸収するために表面凹凸を活用しています。SIMS分析を行う上で、表面の凹凸は深さ方向分解能の低下を招きます。表面からの測定では表面凹凸及びノックオンの影響により、CIGS中へCd、 Zn、 Oなどが拡散しているように見えます(図3)が、基板側(裏面側)から測定することにより、Cd、 Zn、 OなどのCIGS層中への顕著な拡散がないことがわかります。(図4) 相互拡散の他にも、主成分(Cu、 In、 Ga、 Se)の組成変化、不純物(B、 Na、 Fe)の濃度分布の評価が可能です。

  • 受託解析
  • 質量分析装置

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【分析事例】SIMSによるSiON膜の評価

膜厚1nm程度のSiON中Nの評価が可能

高感度なSIMS分析が得意とする低濃度領域に至るまで、SiON膜中Nの分布を深さ方向に評価し、N量(単位:atoms/cm2)を高い精度で評価が可能です(図1)。またNをatomic%へ変換(図2)、Nのフィッテングカーブ算出することができ、フィッティングによりNのピーク濃度・深さ・半値幅を算出(図3)することが可能です。

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