【分析事例】SIMSによるダイヤモンド評価事例
不純物元素の定量評価及び膜厚評価が可能です
ダイヤモンドは高絶縁破壊電界など優れた物性を有するため、次世代のパワーデバイスや 量子デバイス材料として期待されています。ダイヤモンドへ不純物元素をドープすることにより 高性能な半導体として機能します。ドープした元素の濃度分布を把握するには, ppb~ppmオーダーの不純物を高感度で検出可能なSIMS分析が有効です。 あわせて不純物の濃度分布から各層の膜厚評価も可能です。 MSTでは、ダイヤモンド標準試料を取り揃えており、30種類以上の元素について定量することができます。
- 企業:一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格:応相談