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ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法
SiO2膜成膜後の過程でウエハ表面に付着した金属汚染を確認する場合、分析の前処理としてSiO2膜を酸に溶解し、溶液の分析を行う方法が従来より用いられています。この方法では、最表面の金属汚染とSiO2膜中の金属汚染を併せた分析結果となり、最表面の金属汚染のみの分析には不向きでした。 MSTでは、前処理でSiO2膜を溶解せずに最表面に付着した金属元素のみを溶解することにより、ウエハ最表面の金属汚染元素評価が可能です。
フェムト秒レーザーアブレーション－誘導結合プラズマ質量分析法は生体組織中に極微量で存在する元素の二次元分布解析に有用な手法である
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 固体試料の局所における無機元素を迅速かつ高感度に分析可能なfsLA-ICP-MS（フェムト秒レーザーアブレーション－誘導結合プラズマ質量分析法）は、生体組織中に極微量で存在する元素の二次元分布解析に有用な手法として注目されている。本稿では、fsLA-ICP-MSの特徴と、組織中の薬剤分布評価事例や、独自に調整した標品を用いた定量イメージング事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．fsLA-ICP-MSの概要と特徴 ３．BNCT用ホウ素薬剤の分布評価 ４．マウス脊髄中の鉄、亜鉛定量イメージング ５．まとめ
導結合プラズマ（ICP）を励起源として用いた無機元素分析の手法です
ICP-MSは溶液を分析するため、固体分析では作製が難しい標準試料を比較的容易に調製することが可能です。そのため、溶液中の極微量な無機元素を精確に定量する場合に頻繁に用いられています。 ・高感度・低バックグラウンドな測定が可能なため、無機元素分析用装置としては最も低い含有量（ppt*あるいはサブpptレベル）を検出できます。(＊：ppt：10-12g/g) ・定量分析の比較基準となる標準試料（標準溶液）の調製を柔軟に行うことができるため、不確かさの小さな結果を得ることができます。 ・周期表の多くの元素を同時に測定可能なため定性分析が可能です。また、広いダイナミックレンジを備えており主成分から微量成分までを同時に分析可能です。
