質量分析装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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質量分析装置 - メーカー・企業18社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年05月27日~2026年06月23日
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質量分析装置のメーカー・企業ランキング

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  1. 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 東京都/試験・分析・測定
  2. ブルカージャパン株式会社 ダルトニクス事業部 微生物同定・菌株識別 神奈川県/試験・分析・測定
  3. 株式会社プレッパーズ 本社 静岡県/その他
  4. 4 アトナープ株式会社 東京都/電子部品・半導体
  5. 5 東芝ナノアナリシス株式会社 神奈川県/試験・分析・測定

質量分析装置の製品ランキング

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  1. 【分析事例】高分子フィルム中の添加物成分分析 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
  2. 微生物迅速同定 「MALDIバイオタイパー」 ブルカージャパン株式会社 ダルトニクス事業部 微生物同定・菌株識別
  3. ウェーハベベル評価技術 東芝ナノアナリシス株式会社
  4. 4 BD Bruker MALDI バイオタイパー smart 日本ベクトン・ディッキンソン株式会社 品質管理・研究開発・注射剤の製剤研究・CMO
  5. 5 MALDI-TOFMSによる顔料、ポリマー分析 株式会社アイテス

質量分析装置の製品一覧

1~30 件を表示 / 全 51 件

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【アプリケーション例】質量分析テクノロジーとデータ取得

最小レベルのイオンシグネチャでも再現性のある結果を得ることができます!。総合カタログと事例資料を進呈中

質量分析テクノロジーとデータ取得のアプリケーション例について ご紹介いたします。 質量分析では、データキャプチャは大変困難なものですが、適切に設計 されたデジタイザを使用することで、その課題を大幅に軽減し最小レベルの イオンシグネチャでも再現性のある結果を得ることが可能。 MS(Mass Spectrometry)システムは、物質サンプルの化学組成の基本的な 分析を可能にします。これは、その高い特異性と定性的および定量的能力に おいて高く評価されています。 【概要(抜粋)】 ■Mass Spectrometry(質量分析) ■MSシステムの構成要素 ■MSシステムの要求性能 ■MSデジタイザ関連機能 ■低速応答システム ■高速応答システム ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

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【ライフサイエンス向け】質量分析装置(総合ラインナップ)

複雑な用途の分析に最適!高精度・高速そして使いやすさを兼ね備えた質量分析装置の総合ラインナップ無料ダウンロード!

LECOの機器は世界中で日々、今日における非常に複雑な試料の分析に使用されています。食品、香料、石油、環境問題、科学捜査、材料科学、メタボロミクスなど、いずれの分野の試料分析にも、皆様の要求に合わせた機器構成をご提供します。 LECO社の機器は、精度、処理速度、および使いやすさにおいて高い評価を得ています。品質方針は、ISO-9001:2008に認定されております。 【ラインナップ】 ○包括的二次元ガスクロマトグラフ飛行時間型質量分析装置「Pegasus 4D-C GC×GC-TOFMS」 ○ベンチトップタイプ飛行時間型質量分析装置「Pegasus BT 4D」 ○超高分解能ガスクロマトグラフ飛行時間型質量分析装置「Pegasus GC-HRT+4D」 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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  • 食品試験/分析/測定機器
  • 質量分析装置

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MALDI-TOFMSによる顔料、ポリマー分析

絶対値として質量数を検出!化合物の組成に関する情報を得る事が出来ます

当社では『MALDI-TOFMSによる顔料、ポリマー分析』を行っております。 「MALDI-TOFMS」では、顔料など不溶性であったり分子量が大きい物質の 分子量情報、合成ポリマーなどの分子量情報、末端基情報などを得る事が可能。 合成化合物の質量確認や、他の分析手法と組み合わせての構造解析など、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■マトリックス支援レーザー脱離イオン化質量分析法(MALDI法)採用 ■化合物の組成に関する情報を得る事が出来る ■GPCに対しては小さく、LCMSに対しては大きいようなポリマーの分析に好適 ■絶対値とし て質量数が検出される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 受託検査
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【資料】質量分析ガイド

官能基や骨格構造など、様々な分析手法から情報を得て解析!質量分析ガイドをご紹介

当資料では、質量分析ガイドをご紹介しております。 有機化合物の分析では化合物が有する官能基、骨格構造、質量など、 様々な分析手法から情報を得て解析を行います。 化合物の質量を知る為の分析として様々な手法があり、それぞれ得意な 分析内容や対象があります。また、用途に合わせて使い分けたり、 他の分析手法と組み合わせて使うことで必要な情報を得る事が出来ます。 【掲載内容】 ■質量分析で主に用いられる手法  ・GC-MS  ・LC-MS  ・MALDI-TOFMS  ・GPC ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【分析事例】有機EL材料TOF-SIMSのRGB素子深さ方向分析

雰囲気制御下でのGCIB(Arクラスター)を用いた有機EL層構造・劣化層の評価

有機ELディスプレイは高精細化・低消費電力化の可能性を秘めた材料であり、市場拡大が期待されています。近年では画質の高精細化のために配列画素が微細化されていく傾向がみられています。 小さな画素を狙って測定を行う場合、従来の斜め切削TOF-SIMS測定では、深さ方向の評価が困難でしたが、今回GCIB(Arクラスター)を導入することで、微小画素でも深さ方向に再現性良く有機EL材料の評価が可能であり、材料の劣化・拡散評価も可能となりました。※GCIB:Gas Cluster Ion Beam

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【分析事例】GCIB_Arクラスター有機材料劣化成分深さ方向分析

雰囲気制御下でのGCIBを用いた有機EL層構造および劣化層の成分評価

大気暴露することで劣化が生じる有機材料について、GCIB(Arクラスター)を用いて劣化成分を深さ方向に分析した事例を紹介します。実験には有機EL原料のルブレンを用いました。大気暴露したサンプルをTOF-SIMSで測定をした結果、ルブレンペルオキシドと推定される質量(m/z 564)や、低分子のベンゼン系の質量(m/z 77、105)が検出されました。これらの劣化に起因する成分は、表面から約1μm以上の深さにわたって存在していることを確認しました。※GCIB:Gas Cluster Ion Beam

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【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

配線材料として用いられる銅(Cu)は空気中で酸化膜を生じますが、保管環境の違いによる膜厚の差を評価した事例をご紹介します。アルミホイルで包んだ銅(Cu)と、ビニール袋に入れた銅(Cu)をそれぞれ40日間保管し、TOF-SIMSにて酸化膜厚の測定を行いました。また、約20日間にわたる継続した調査により、再現性が得られていることを確認しました。 TOF-SIMSは酸化物や金属など無機物の深さ方向分析が可能です。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:ディスプレイ・LSI・メモリ・電子部品 分析目的:化学結合状態評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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【分析事例】MSDMによる有機ELデバイスの劣化解析

質量スペクトルを可視化することで、より高精度な解析が可能です

有機EL(OLED)は高精細ディスプレイ向けパネルや照明用など多様な用途に用いられており、層構造解析や劣化解析のニーズが高まってきていますが、様々な有機材料を組み合わせて形成されているため、元素分析だけでは一部の現象しか捉えることができません。 本資料では、TOF-SIMSによりOLEDの深さ方向分析データを取得し、MSDM(Mass Spectra Depth Mapping)により試料の劣化について知見を得た事例をご紹介します。

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【分析事例】染料・顔料を塗布した紙の分析

TOF-SIMSにより染料・顔料由来の分子情報の可視化が可能

カラープリンターは紙表面にインクを用いて印字します。インクには、染料・顔料が含まれており、色により特徴的な分子情報が存在します。この分子情報を可視化することで、紙表面のインク成分の分布や、紙断面においてどの程度の深さまでインク成分が浸透しているかの情報を得ることが可能となります。 以下に、分子情報を可視化したTOF-SIMSによる「紙表面のイメージ結果」をまとめます。 TOF-SIMSは、10μm角から3cm角の分子情報のイメージ分析が可能です。

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【分析事例】光ファイバーのコアとクラッドの定性評価

TOF-SIMSにより光ファイバーの材料の定性・分布評価が可能です

光ファイバーは屈折率の高いコアの周りを屈折率の低いクラッド層で覆う構造をしています。屈折率の違いにより、境界で光を全反射し伝達します。そのため、それらの材料の選択、不純物の有無、密着性、被覆状態、付着物などを分析することが重要となります。光ファイバーは、大きく分けてプラスチック製、石英製の2つがあります。本資料では、TOF-SIMSでプラスチック製光ファイバーの断面を分析することにより、コアおよびクラッドの材料を同定した事例を紹介します。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:光ファイバー・電子部品 分析目的:定性評価、有機物評価、組成分布評価 「詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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【分析事例】LDI-MSによるフッ素系ポリマーの構造解析

フッ素系グリース、フッ素系潤滑剤、フッ素系オイル等の構造解析

フッ素系の高分子材料は化学的安定かつ様々な特性をもち、産業機械や半導体、エレクトロニクス分野で幅広く使用されています。LDI-MS(レーザー脱離イオン化質量分析法)は分子量数千程度のフッ素系ポリマーを分子のままイオン化できる分析手法であり、フッ素系ポリマーの繰り返し単位と分子量を把握し、末端基組成や構造を推定することが可能です。本資料では、潤滑剤や熱媒体などの基油として使用されるパーフルオロポリエーテル(PFPE)を構造解析した事例を紹介します。 測定法:MALDI-MS 製品分野:高分子材料 分析目的:組成評価・同定、化学結合状態評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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固体試料表面の質量分析法の使い分け

目的成分やイメージ ング視野の大きさなどに応じて、両手法を使い分けることが有効です

代表的な固体試料表面の質量分析法であるTOF-SIMSとMALDI-MSでは、ともに定性分析やイメージン グ分析が可能です。ハードイオン化法を利用するTOF-SIMSでは、質量が数百までの無機・有機成分を 高感度に検出できます。一方、ソフトイオン化法を利用するMALDI-MSでは、数千~数万の高分子を検 出できます。また、照射ビームの径に依存してイメージの空間分解能も異なります。

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【分析事例】脂質のイメージング

マウス精巣中脂質のイメージング!TOF-SIMSとMALDI-MSで測定した事例を紹介

弊団では、脂質のイメージングを行っております。 TOF-SIMSでは低質量成分を得意とし、高い面分解能でイメージングが可能です。 一方、MALDI-MSでは高質量成分を得意とし、イメージングが可能な脂質の 種類が豊富です。 ここではマウス精巣中における脂質のイメージング質量分析の結果を例に、 TOF-SIMSとMALDI-MSで測定した事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法 ■[MALDI-MS]マトリックス支援レーザー脱離イオン化質量分析法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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MSシステム『Smart Flash MS システム』

マススペクトル検出中圧分取クロマトシステム!

当製品は、高性能な卓上型MSとSmart Flashとの融合により分取に最適化 した、使いやすいMSシステムです。 高性能MSスペクトルの多彩な機能を存分に発揮。 MSスペクトル分析、MSモニターが中圧クロマトと同時進行で行えます。 0.1刻みの正確なm/z を測定でき、分子量の特定が正確にでき、 動作環境の制約が少ないので、温度変化があっても正確に測定可能です。 さらに、汚れに強いAPCIプローブを標準装備していますので、高濃度サン プルにも対応ができ、配管の詰まりや特別なメンテナンスを意識すること なく気軽に使用できます。 【特長】 ■MSスペクトルの測定範囲がm/zにて10~1,200の広い範囲で可能 ■指定した範囲のm/z を秒刻みですべて保存 ■ドラフト内に収まるサイズ ■APCIプローブを標準装備 ■ESIに加えてAPCIの2 種類のプローブを標準で用意 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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  • その他
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【分析事例】培養液の特性解析

主成分の特定のためには多成分の半定量分析、 注目成分の管理には定量分析など、用途に合わせて分析を実施いたします。

培養液中にはアミノ酸・有機酸・ビタミン・核酸関連化合物、 さらに細胞から分泌される代謝物など様々な化合物が含まれています。 カネカテクノリサーチでは、 培養液に含まれる多くの有機・無機成分を種々の分析法を用いて 半定量・定量することが可能です。 得られたデータを多変量解析して生産率を左右する要因成分を発見し、 問題解決に有用な情報をご提供致します。 ■分析方法 主成分の特定:多成分の半定量分析 注目成分の管理:定量分析など 〈使用装置〉LC-MS/MS、CE-TOF/MS、GC/MS、       IC、ICP-AES、ICP-MSなど 再生細胞などの医療分野・食品分野の研究・開発にも この技術を応用していただくことができます。

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質量分析装置ASTON アプリケーションノートのご紹介

質量分析装置ASTONを用いた様々なアプリケーションをご紹介します。

質量分析装置ASTONを使ったアプリケーションノートをご紹介します。 <アプリケーションノート一覧> 1. ASTON Application Note_vol.1_チャンバークリーニング 2. ASTON Application Note_vol.3_エタノールの簡易成分分析 3. ASTON Application Note_vol.2_高感度終点検出_エッチングプロセスモニタ ※アプリケーションノートは、随時追加してまいります。

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【技術資料】ノニオン界面活性剤のKMD plot

ノニオン界面活性剤を含む薬剤の異常品について成分調査を行いました!

当資料では、ノニオン界面活性剤のKMD plotの技術をご紹介しております。 界面活性剤は複数種をブレンドして使用されることが多く、個々の 界面活性剤だけを見ても多数の同族体で構成され、含有成分数が 100を超えることも珍しくありません。 このような場合にLC/Q-TOFMSとKMDプロット解析を用いれば、正常品と 異常品の違いを視覚的に判別できます。 【掲載内容】 ■LC/MSによる薬剤含有成分判別の困難さ ■LC/Q-TOFMSデータを用いたKMDプロット解析 ■原理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【アプリケーションデータ】サルファ剤の分析例

LC/MS用脱塩チューブ“ソルナックチューブ”を使用!4種類のサルファ剤を測定できました

サルファ剤とは、スルファミンを母体とした一群の化学療法剤の総称で、 動物用医薬品として用いられています。 資生堂のアプリケーションデータにリン酸塩緩衝液を用いた例が 掲載されていましたので、それを参考に溶離液条件を検討しました。 条件や分析結果の詳細は、カタログをダウンロードしてご覧ください。 【LC条件(一部)】 ■装置:Agilent 1200 ■流量:0.3 ml/min ■検出器:UV(215 nm) ■試料:サルファ剤4種混合試薬20 ppm溶液 ■注入量:4 μL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【アプリケーションデータ】イオン液体分析例:イオン対試薬への適用

LC/MS用脱塩チューブ“ソルナックチューブ”を使用!オンラインLC/MS分析を行いました

イオン液体は「イオンのみで構成されており、100℃以下で液体状態の塩」 と定義され、電解質を主用途として今後の開発が期待されています。 主なイオン液体は、極性が高くUV吸収が弱いことから、低波長でも検出が 可能なドデシル硫酸ナトリウム(SDS)などのイオン対試薬を添加した 溶離液を用いてHPLC分析することが多いです。 イオン液体の代表的骨格の一つであるイミダゾリウム塩を試料として、 ドデシル硫酸アンモニウムを添加した溶離液を用いてLC/MS分析を行いました。 条件や分析結果の詳細は、カタログをダウンロードしてご覧ください。 【LC条件(一部)】 ■装置:Agilent 1200 ■流量:0.3 ml/min ■検出器:UV(215 nm) ■試料:1-ブチル-3-メチルイミダゾリウムクロリド5 ppm溶液 ■注入量:5 μL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【アプリケーションデータ】TFA除去による負イオンの測定例(2)

LC/MS用脱塩チューブ“ソルナックチューブ”を使用!TFA除去の効果でシグナルが検出

酸性化合物を逆相分配クロマトグラフィーにより分析する際、解離抑制のために 酸性移動相(分析種のpKaより2以上低いpHに設定)を用いることがあります。 通常LC/MSで使える酸性移動相としては、酢酸、ギ酸、トリフルオロ酢酸(TFA) などが一般的であり、低いpHで使用するならTFAが適していますが、分析種を 負イオンで検出する場合、ほぼ100%の確率でイオン化抑制を起こすと考えられます。 酸性基を持ち極性が高いアミノ酸のメチオニンを試料として、ソルナックチューブで 溶離液中のTFAを除去して負イオン測定を行いました。 条件や分析結果の詳細は、カタログをダウンロードしてご覧ください。 【LC条件(一部)】 ■装置:Agilent 1200 ■流量:0.3 ml/min ■検出器:UV(210 nm) ■試料:メチオニン20ppm溶液 ■注入量:5 μL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【アプリケーションデータ】吸着しやすい塩基性化合物に対する改善例

ソルナックチューブに吸着しやすい塩基性化合物に対するポストカラム法による改善例!

リン酸塩緩衝液条件にソルナックチューブCFANを用いた場合、測定対象化合物が 塩基性の場合には解離型になりチューブ内の樹脂に吸着してしまうことがあります。 そこで、チューブ導入前にポストカラム法によりアンモニア水を添加することで、 チューブ内の溶離液を塩基性にして測定対象化合物を非解離型とすれば吸着を 抑制できると考えました。 ポストカラム法でアンモニア水を添加して、ソルナックチューブへの吸着の 改善を試みました。 条件や分析結果の詳細は、カタログをダウンロードしてご覧ください。 【LC条件(一部)】 ■装置:Agilent 1200 ■検出器:UV(215 nm) ■試料:塩酸ドキセピン試薬20 ppm溶液 ■注入量:5 μL ■ポストカラム:200mM アンモニア水0.05 ml/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【アプリケーションデータ】ドデシル硫酸除去によるLC/MS測定例

LC/MS用脱塩チューブ“ソルナックチューブ”を使用!オンラインでドデシル硫酸を除去

極性が高い塩基性化合物を逆相分配クロマトグラフィーにより分析する際、 酸性のイオン種を溶離液中に添加することでイオン結合により中性の イオン対を形成して保持を向上させることがあります。 イオン対試薬として使用されているドデシル硫酸ナトリウムは不揮発性で、 MSのイオン化部で析出し導入困難になることや分析種のイオン化を抑制 することから、オンラインでLC/MSの測定に用いることはできません。 今回は、ドデシル硫酸アンモニウム(ADS)を添加した系で、試料として カフェインと塩酸チアミンを使用して、ソルナックチューブで試料溶液中の ドデシル硫酸を除去して正イオン測定を行いました。 条件や分析結果の詳細は、カタログをダウンロードしてご覧ください。 【インフュージョン条件】 ■試料:(1) カフェイン10ppm溶液、(2) 塩酸チアミン10ppm溶液 ■溶解液:CH3CN / H2O = 50 / 50 + 10mM ドデシル硫酸アンモニウム ■流量:0.1 ml/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ウェーハベベル評価技術

感度・定量に特化したSIMS(D-SIMS)にて高精度に成分評価する手法を確立!

ウェーハベベル部の成分評価は一般的にTEMやTOF-SIMSで行われていますが、 これらの手法はいずれも感度や定量に制限があり、微量の成分評価は困難と されてきました。 今回、新たに開発した専用治具を用いることで、感度・定量に特化したSIMS (D-SIMS)にて高精度に成分評価する手法を確立しました。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【技術概要】 ■傾けた不安定な状態の試料の位置ずれ、検出安定性の低下を  防止するために専用治具で固定 ■測定位置を高精度かつ自由度高く選択することができる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • その他 分析・評価受託
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ペプチド探索法『BLOTCHIP-MS法』

プロトセラは、ペプチド探索法により高品質な試験を提供します!

『BLOTCHIP-MS法』は、一次元電気泳動から質量分析に至る工程を簡略化し、 大量検体の高速処理が可能なMALDI-TOF-MS用の新しい測定板(BLOTCHIP)を 用いた解析方法です。 ペプチドの質量分析を妨害するタンパク質や、生体組織からの抽出工程で 混入する高濃度の塩類は一次元電気泳動の工程で完全に除去し、ゲル中の ペプチドは電気転写によりBLOTCHIPへワンステップで写し取られることから、 従来法の煩雑な工程を省略した高速ペプチドーム解析法を確立しました。 BLOTCHIP-MS法は、バイオマーカーの開発以外にも様々な目的の ペプチド研究に応用することが可能です。 【特長】 ■前処理が簡便 ■除タンパクを行わないため従来法と比較してターゲットのロスが少ない ■ターゲットペプチドが既知の場合は定量分析が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【ライフサイエンス向け】質量分析装置の分析事例集

分析事例プレゼント!食品や、石油、材料科学など複雑な試料分析に好適な質量分析装置

LECOの高性能質量分析装置は、データ取得速度、質量精度、同位体存在比、質量分解能およびダイナミックレンジにおいて、一切妥協をせずに開発された新設計の装置。世界中で、非常に複雑な試料の分析に使用されています。ISO-9001:2008に認定され、その品質は世界に認められています。 食品、香料、石油、環境問題、科学捜査、材料科学、メタボロミクスなど、いずれの分野の試料分析にも、皆様の要求に合わせた機器構成をご提供いたします。 【掲載事例】 ■香気成分分析における検体間の比較分析法 ■高分子材料における検体間差異解析法 ■メタボローム解析法 ■未知化合物同定へのアプローチ ※下記「ダウンロード」より、分析事例を無料でご覧いただけます!

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  • 食品試験/分析/測定機器
  • 質量分析装置

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微生物迅速同定 「MALDIバイオタイパー」

バクテリアの同定、迅速、低コスト、高精度

■ 1検体あたり低コスト 数十円程度 ■ 7854種。オリジナルライブラリを拡張・共有可能 ■ スメア法で1検体を11分、96検体を100分で同定 (※標準的な場合です) ■ サンプル:バクテリア、酵母、カビなど ■ 糸状菌、抗酸菌のプロトコルを確立 ■ 使用装置:microflex LT、microflex LT smsrt MALDI-TOF質量分析装置

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【資料】MALDIバイオタイパーの歴史(ホワイトペーパー)

材料から微生物まで!種レベルまで同定できる強力な技術として誕生

当資料では、MALDI-TOF MSの誕生から、MALDIバイオタイパー開発とその用途の拡大などについて解説しております。 MALDI-TOF MSの歴史、商用MALDI-TOF MSシステムの製造において ブルカー社における科学者達の初期の役割、そしてこの技術の 普及が及ぼした影響について振り返ります。 是非、ご一読ください。 【掲載内容(一部)】 ■はじめに ■MALDIの誕生と草創期の歴史 ■ブルカー初の商用MALDI-TOF MSシステム ■MALDI-TOF MSの初期の用途 ■MALDI-TOF MSシステムの使い勝手の改善 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【分析事例】顔料・色素の分散の観察

TOF-SIMSによるミクロンオーダーのイメージ測定

ポリエチレン表面に分散した青色色素「Cuフタロシアニン」の分布を調べました。 TOF-SIMS分析にて、1μmの色素系有機物の分布を捉えることが可能です。

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【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価

金属成分と有機成分を同時に評価可能です

半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点から、ウエハの裏面の清浄度向上に加え、ウエハのベベル部に残留する物質を除去することが求められています。今回、ベベル傾斜面のTOF-SIMS分析を行い、汚染の分布を評価しました(図2)。また、付着物と正常部・汚染源のマススペクトルを比較し、付着物は汚染源の金属(Cr)成分・有機物成分と一致していることがわかりました。 TOF-SIMSにてベベル部(端面と傾斜面)の汚染の発生工程を捉える事が可能です。

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【分析事例】リチウムイオン二次電池の加熱劣化試験

加熱劣化後のサンプルをLC/MS/MS、TOF-SIMS、TEM+EDXなどで評価可能

リチウムイオン二次電池の開発には、高性能化・長寿命化・信頼性向上などの課題があります。これらの課題を解決するためには、電池の劣化機構の解明が重要です。今回は、温度による劣化機構についての評価のために、加熱劣化試験を行いました。加熱劣化試験後、大幅な容量低下が見られたサンプルについて、電解液をLC/MS/MS、負極表面をTOF-SIMS、負極断面をFIB-TEM+EDXで評価しました。

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