大気圧イオン化質量分析装置『API-MS』
高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術をサポート！
当社は、半導体製造分野、有機EL製造分野及び先端研究分野において、 『API-MS』を用いた高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術を サポートしています。 配管工事の施工実績としては、カミオカンデの次世代検出器XMASS用の ガス供給設備やJAXAのはやぶさII帰還チェンバー用ガスサンプリング システムなどがあります。 また『API-MS』法が、高感度なフィルムのガス透過性評価装置として ISO登録されました。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- Company：株式会社日本エイピーアイ
- Price：応相談
