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DLC膜の様々な改質を可能としたDLCコーティング装置！超精密金型や高速摺動部品等の少量多品種から大規模生産まで対応！
低摩擦係数で高硬度を持つDLC膜の成膜を基本とし、加えて幅広いアプリケーションに対応すべく、DLC膜の様々な改質を可能とします。超精密金型や高速摺動部品等の少量多品種から大規模生産まで、また、研究開発機として数多くの実績を持ちます。 【ラインナップ】 ■NANOCOATシリーズ：単層DLC膜 成膜装置 ■DASHシリーズ：多層化DLC膜 成膜装置 ■NPSシリーズ：PS2システム標準 成膜装置 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
【無料配布中】DLC（ダイヤモンドライクカーボン）の基礎が読むだけで、簡単に理解いただける小冊子です。
【概要】 DLC膜は高真空中のアーク放電プラズマで炭化水素ガスを分解し、プラズマ中のイオンや励起分子を基板（製品）に電気的に加速しエネルギーをもってぶつけることにより形成します。 また、DLC膜は緻密なアモルファス構造のためその表面は非常になめらかで結晶粒界がありません。この表面特性がDLCのすぐれたトライボロジー（摩擦摩耗）特性の一因となっています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
広範な膜特性の制御可能！基板加熱源は水冷型と加熱型から選択いただけます
『DLCコーティング装置』は、豊富な蓄積データを有し、優れた膜厚分布 および再現性を実現します。 成膜源はRFプラズマCVD法とイオン化蒸着法から選択可能。 半導体をはじめ、電子部品や光学部品、車載部品などにご利用いただけます。 また、マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作できます。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■成膜源はRFプラズマCVD法とイオン化蒸着法から選択可能 ■基板加熱源は水冷型と加熱型から選択可能 ■優れた膜厚分布および再現性を実現 ■様々な基板材質に成膜可能 ■広範な膜特性の制御可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
