燃料電池電極（バイポーラプレート）用保護膜
低温成膜可能な高硬度薄膜。低抵抗、高耐食性。SydroDIAMOND (ta-Cコーティング)
FCVA法による、低抵抗、高耐食性膜の水素フリーDLC薄膜。 低温でコーティングを行っているため、基板材料の変形、変質がありません。 量産用インライン型FCVA成膜装置を確立。 【バイポーラプレート保護膜の膜特性】 ■ 腐食抵抗：＜1uA/cm2 ■ 接触抵抗：＜５mΩcm2 (0.6MPa) ■ 鉄イオン溶出量：＜25ppb (96時間テスト後) ■ 硬度 ：~40GPa
- 企業：株式会社ナノフィルムテクノロジーズ ジャパン
- 価格：応相談
