F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』
真空紫外吸収分光法でフッ素ラジカルの絶対密度計測！計測応用もさまざま
『SP型-RadiMo』は、吸収分光法により基底状態のフッ素ラジカルの 絶対密度の計測ができる装置です。 光源から放射されるプローブ光のスペクトルは、高精度にキャリブレーション されています。 また、発光・非発光プラズマのどちらでも計測することが可能。F-RadiMoは プロセス装置のポートに取り付けることにより計測できるようになります。 【特長】 ■フッ素ラジカルの絶対密度の計測 ■発光、非発光プラズマのどちらでも計測可能 ■絶対密度算出のための較正が必要ない ■F-RadiMoはプロセス装置のポートに取付けて計測可能 ■さまざまな計測応用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社片桐エンジニアリング
- 価格：応相談
