1～2 件を表示 ／ 全 2 件
世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。
Radimoラジカルモニター ＜対向型ラジカルモニターDP型＞は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。プラズマ中の基底準位に存在する原子を吸収分光法により測定、測定対象及び目的により最適構造の選定が可能です。計測用ソフトウエアは名古屋大学堀研究室での研究成果にて校正された最新のものが搭載されています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
真空紫外吸収分光法でフッ素ラジカルの絶対密度計測！計測応用もさまざま
『SP型-RadiMo』は、吸収分光法により基底状態のフッ素ラジカルの 絶対密度の計測ができる装置です。 光源から放射されるプローブ光のスペクトルは、高精度にキャリブレーション されています。 また、発光・非発光プラズマのどちらでも計測することが可能。F-RadiMoは プロセス装置のポートに取り付けることにより計測できるようになります。 【特長】 ■フッ素ラジカルの絶対密度の計測 ■発光、非発光プラズマのどちらでも計測可能 ■絶対密度算出のための較正が必要ない ■F-RadiMoはプロセス装置のポートに取付けて計測可能 ■さまざまな計測応用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
