SECS/GEMドライバ（半導体製造装置と上位システムの通信）
SECS/GEMで半導体製造のデジタル化を推進。装置・製造メーカーを強力に支援。
SECS/GEM ソリューション 機能概要 当社のSECS/GEMソリューションは、SEMI E30（GEM）およびE5（SECS-II）規格に完全準拠し、装置状態監視、データ収集、アラーム管理等の基本機能を提供します。さらにGEM300（E40/E87/E90/E94）規格にも対応し、300mmウェーハ対応の高度な自動化を実現します。 開発コンポーネント「KingExGem/KingExGemH」により、装置制御ソフトウェアへの組込みが可能です。既存設備向けにはスタンドアロン型データ転送ツール「KingSecsGemTransmitter」を提供し、OPC/API等多様なデータソースからMES/EAPへのデータ変換・送信を実現します。 データ収集プラットフォーム「KingIOServer」用専用ドライバ「KingIOServerSecsGem」により、複数装置からの一括データ収集と双方向制御をサポート。OPC DA/UA、Web API、RESTful等多様なインターフェースに対応し、既存環境とのシームレスな連携を実現します。
- 企業：ウェリンテック・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
