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SECS/GEMドライバ(半導体製造装置と上位システムの通信)

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最終更新日:2025年10月07日

ウェリンテック・ジャパン株式会社
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SECS/GEMで半導体製造のデジタル化を推進。装置・製造メーカーを強力に支援。

SECS/GEM ソリューション 機能概要 当社のSECS/GEMソリューションは、SEMI E30(GEM)およびE5(SECS-II)規格に完全準拠し、装置状態監視、データ収集、アラーム管理等の基本機能を提供します。さらにGEM300(E40/E87/E90/E94)規格にも対応し、300mmウェーハ対応の高度な自動化を実現します。 開発コンポーネント「KingExGem/KingExGemH」により、装置制御ソフトウェアへの組込みが可能です。既存設備向けにはスタンドアロン型データ転送ツール「KingSecsGemTransmitter」を提供し、OPC/API等多様なデータソースからMES/EAPへのデータ変換・送信を実現します。 データ収集プラットフォーム「KingIOServer」用専用ドライバ「KingIOServerSecsGem」により、複数装置からの一括データ収集と双方向制御をサポート。OPC DA/UA、Web API、RESTful等多様なインターフェースに対応し、既存環境とのシームレスな連携を実現します。

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SECS/GEMドライバ(半導体製造装置と上位システムの通信)

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基本情報

KingExGem.dllは装置側向けSECS/GEM開発コンポーネントであり、KingExGemHはホスト側向け開発コンポーネントです。両製品ともGEMシナリオのパラメータ設定、検証、動作シミュレーションを支援し、規格準拠の通信インターフェースを効率的に開発できます。 KingSecsGemTransmitter/300Transmitterはデータ転送ツールで、データプラットフォームからEAP/MESへのデータ転送を実現。8インチ及び12インチウェハ装置におけるSECS/GEMインターフェースの迅速な開発ニーズに対応します。 KingIOServerSecsGemはホスト側用SECS/GEM通信ドライバで、半導体装置とのデータ収集及びSECSコマンドの双方向通信を実現します。

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用途/実績例

EAPの応用例: ・お客様の課題: 設備運用管理プロセスにおいて、生産効率と製品品質の低下、生産プロセスのデジタル化の遅れなどの課題があり、スマート製造の実現が困難となっています。 多種多様な装置が混在しているため、データ統合の実現が困難です。 MESは装置と直接通信できないため、EAPを介したメッセージ転送に依存しています。 ・プロジェクトの特長: 生産トレーサビリティ: Wafer、Carrier、Lot ID、Event、Alarmなどの生産履歴データの追跡を実現します。 生産管理及び効率計算: RMS、PMSに対応し、OEE(Overall Equipment Effectiveness)及びUPH(Units Per Hour)の計算をサポートします。 簡易かつ柔軟な収集ソリューション:   シンプルな構成で基本通信機能をサポートし、プロジェクトの開発コストを低減します。 データ統合: 200台を超える装置のデータ収集、並びに生産プロセスの監視・制御をサポートします。

詳細情報

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ウェリンテック・ジャパン株式会社は、「現場の知恵」と「デジタルの力」の融合で、製造業のデジタル革新を推進するソリューション・プロバイダーです。 2008年創業以来、太陽光発電監視システムから工場生産管理まで、現場の声に基づく「見える化ソリューション」を提供してきました。現場密着型の開発と導入支援が強みです。 2026年度を目標に、新たな成長戦略を展開します。第一に、生産現場の基幹となる自社開発3大ソフトウエア: - KingIOServer(高精度データ収集) - KingSCADA(安定監視制御) - KingHistorian(時系列データ管理) を中核に、全国主要工業地域で即時対応体制を強化します。 第二に、パートナー様との共創を加速。OEMによるブランドカスタマイズや既存システム置換による開発費削減(最大40%)等を通じ、競争力強化を支援します。 「現場に技術を、お客様に誠意を」の理念のもと、日本のものづくり革新に貢献してまいります。引き続きご支援を賜りますようお願い申し上げます。

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