UVオゾンクリーナー UV-1
UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー
UV-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。
- 企業：サムコ株式会社
- 価格：応相談
UVオゾンクリーナ×サムコ株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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UVオゾンクリーナー UV-300
UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー
UV-300は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された洗浄装置です。
- 企業：サムコ株式会社
- 価格：応相談
UVオゾンクリーナー UV-300H
UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー
UV-300Hは、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された洗浄装置です。本装置は従来のUV/O3処理に比べ、高速処理が可能です。
- 企業：サムコ株式会社
- 価格：応相談
