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UV表面処理装置 - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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UV表面処理(UV洗浄・UV改質)装置 EUVシリーズ

圧倒的スペック(30mW/cm2 )の装置。研究・開発の時間短縮、従来以上の効果等で新しい領域の開拓が期待できる装置です。

UV表面処理(UV洗浄・UV改質)装置 の最高峰。大学・企業研究室への納品実績も多い標準機をベースに開発、性能と使いやすさを両立させました。 ステージ160x160 30mW/cm2(254nm)ランプ搭載。30cm角程度のスペースに設置可能。照射距離を簡単に調整できるジャッキ・テーブル付き。インターロック(オプション)付きもご用意しています。

  • 紫外線照射装置
  • その他表面処理装置
  • オゾン発生装置

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エキシマUV表面処理装置

ウェット処理との組合わせ自動処理でプロセスの高品質化

■エッチング前処理、レジスト除去前処理、剥離後洗浄、接着前処理等に有効  ◎エッチング前処理…親水化、均一性向上  ◎レジスト除去前処理…レジスト最表面硬化層改質除去  ◎剥離後洗浄…微量レジスト残差の除去  ◎接着前処理…有機物除去で接着強度Up ■高い光子エネルギーで分子結合を分解 ■基板やデバイスパターンへの放電やダメージが無い ■瞬時点灯/消灯が可能 ■水銀不使用で環境にやさしい ■N2使用量極少 ※カタログは近々に開示します。

  • その他理化学機器

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