クリーンルーム大気中のアミン類不純物分析
プロパノールを含む加湿剤をガスバッグに帰化させWAXカラムを用いて分析！
「クリーンルーム大気中のアミン類不純物分析」についてご紹介いたします。 半導体、MEMS素子の製作では、クリーンルーム大気中のガス状不純物が 悪影響を与えていることが問題になっています。 特にアンモニアやアミンといった塩基性不純物は化学増幅型レジストの 形状異常を引き起こすことが知られています。 Sylphによるアミン系物質である2-アミノ-2-メチル-1-プロパノール (イソブタノールアミン)の分析方法について報告します。 詳細は、PDF資料よりご確認いただけます。是非、ご覧ください。 【概要】 ■Sylphによる分析 ・2-アミノ-2-メチル-1-プロパノールを含む加湿剤をガスバッグに 帰化させWAXカラムを用いて分析を実施 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：ボールウェーブ株式会社
- 価格：応相談
