イオン銃『OMI-0850 series』
大電流のイオンビームを長時間安定的に照射可能!精密素子等の加工時間を短縮します
『OMI-0850 series』は、nmオーダーの超精密加工を可能とする、 RF励起方式のイオン銃です。 大電流のイオンビームを長時間安定的に照射可能ですので、精密素子等の 加工時間を短縮します。独自のニュートラライザーをオプションで 搭載可能とし、絶縁物の加工も可能です。 また、IBF(Ion Beam Figuring)はもちろん、細かく収束制御されたビームは IBSイオンビームスパッタ成膜にも対応できます。 【特長】 ■nmオーダーの超精密加工ができる ■RF励起方式 ■IBSイオンビームスパッタ成膜にも対応 ■独自のニュートラライザーをオプションで搭載可能 ■絶縁物の加工もできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:株式会社オメガトロン
- 価格:応相談