大電流のイオンビームを長時間安定的に照射可能！精密素子等の加工時間を短縮します
『OMI-0850 series』は、nmオーダーの超精密加工を可能とする、 RF励起方式のイオン銃です。 大電流のイオンビームを長時間安定的に照射可能ですので、精密素子等の 加工時間を短縮します。独自のニュートラライザーをオプションで 搭載可能とし、絶縁物の加工も可能です。 また、IBF(Ion Beam Figuring)はもちろん、細かく収束制御されたビームは IBSイオンビームスパッタ成膜にも対応できます。 【特長】 ■nmオーダーの超精密加工ができる ■RF励起方式 ■IBSイオンビームスパッタ成膜にも対応 ■独自のニュートラライザーをオプションで搭載可能 ■絶縁物の加工もできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様(グリッドの設計より特注対応する為、以下は参考値)】 ■ビームエネルギー：100eV～1500eV ■ビーム電流：～15mA(1200eV) ■ビーム径：φ24mm(FWHM) ■最大電流密度：2.5mA/cm2 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■イオンビームスパッタ ■イオンビームフィギュアリング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
弊社の営業方針は次の３本柱より成り立ちます。 ・高度で独自性のある基礎研究のお手伝いを通じ、研究者の方々 の“夢”と“思い”の具現化に貢献する事。 ・弊社の得意中の得意でもある高性能電子銃、高性能イオン銃等を主体とする、高性能真空実験装置をお客様のニーズに沿った最適なものに仕上げ、供給及びメンテナンスを施し、研究開発に貢献する事。 ・これらの基礎技術を応用し、オメガトロンのオリジナル商品を開発し、広範囲な産業界及び研究開発業界に貢献する事。