300mmウェハカセットレス洗浄装置
65nμm／5個の高清浄度を達成！25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理
『300mmウェハカセットレス洗浄装置』は、ファイナルポリッシュ後の 化学研磨工程で使用する製品です。 25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理しており、 65nμm／5個の高清浄度を達成しています。 【主な仕様】 ■被洗浄物：300mm 厚み 0.75t ■処理方法：カセットレスによるDip処理 ■処理速度：50 枚/5min（可変） ■装置内清浄度：0.1μm クラス1 ■パスライン：FL+900±5mm フープによる手動セット ■搬送方式：前面搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ダン科学
- 価格：応相談
