ウェハスピン洗浄機×マック産業機器株式会社 - 企業1社の製品一覧

ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置

フルオートマティックスピン洗浄装置　300mm/8インチウエハー、ガラス

本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。

• 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
• 価格：1000万円 ~ 5000万円

• その他半導体製造装置