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ウェハ外観検査装置×株式会社ジャステム - 企業1社の製品一覧

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ウェハ外観検査装置 (MWL-02型)

本機械は、半導体製造工程でφ8”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う装置です

マクロ検査ではジョイスティック操作によりウェハ角度を自在に可変可能です。 また顕微鏡観察によるミクロ検査では接眼鏡筒とモニターでの観察を切換え可能です。 ウェハカセットは2個搭載可能です。

  • 半導体検査/試験装置
  • その他半導体製造装置

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