ウェハ外観検査装置『OVS-5120シリーズ』
激化する競争に勝つ!ローコストでハイパフォーマンスマシンをご紹介
『OVS-5120シリーズ』は、ロードポートから供給されたウエハを XYθステージにセットし、高速高解像度カラーエリアカメラで、 致命欠陥検出を行うウェハ外観検査装置です。 不良品に良品を入れず、特殊照明とソフトウェアで安定した不良検出。 また、ロット間バラツキ吸収ソフトウェアで、独自の学習ソフトを 搭載しております。 【特長】 ■驚異の検出力 ■再現性 ■現場に強い対応力 ■誰でも簡単レシピ ■ローコスト/ハイパフォーマンスマシン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:オカノ電機株式会社
- 価格:応相談