ウエハー平坦度測定機『Wafercom 300』
シリコン透過式変位センサーを用いて、シリコンウエハ厚みを非接触で検出します
『Wafercom 300』は、ベアーウエハー対応の多機能な計測装置です。 シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウエハ厚みを非接触で検出。 測定時の揺れを最小限にする為、Y 軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には インド産黒御影石を使用した高精度なエアーベアリングを採用しており、 ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能です。 また、PCに取り込まれたデータを解析しグローバルフラットネス、 サイトフラットネス、ワープ、ソリ及びエッジロールオフの形状評価ができます。 【特長】 ■ベアーウエハー対応 ■多機能 ■Y軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には高精度なエアーベアリングを採用 ■ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：土井精密ラップ株式会社
- 価格：応相談
