ウエハ移載機
ウエハ搬送に最適！ウエハ移載機
●ウエハとチャックとの接触面を最小限にすることにより、ウエハへのストレスや汚染を防止。 ●モータ駆動によりパーティクルの発生を予防。 ●独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボードへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。 ●オプションとして静電気除去装置も準備してます。
- 企業：大宮工業株式会社 営業本部営業課
- 価格：応相談
ウェハ移載機 - 企業3社の製品一覧
製品一覧
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ウエハ移載機
ウエハ移載機
薄物ウエハ（150μｍ）対応可能なウエハ移載機。 ■特長 １．通常厚から薄物ウエハまで幅広く対応することが出来る。 ２．低価格にてご提供することが出来る。 ３．高スループット。 ４．対象ウエハは、５、６、８、インチウエハ。 ５．豊富な装置バリエーション。(２〜４キャリアまで対応可能） ６．ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供。 ７．ID読取り対応。（Semiフォント/２次元コード他） ８．生産管理システムとの上位通信。
- 企業：レイリサーチ株式会社
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
ウエハ移載機（ウエハソーター）
ウエハ移載機（ウエハソーター）
本装置は、2ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer
- 企業：株式会社リバティー
- 価格：応相談
ウエハ移載機
ウエハ移載機
従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。 ■特長 ・省スペースなコンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。 ・検査ユニットとのドッキングが可能です。 ・対象ウエハは、100mm〜200mm オリフラ・ノッチに対応可能です。 ・ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供します。
- 企業：レイリサーチ株式会社
- 価格：500万円 ~ 1000万円
ウエハ移載機（ウエハソーター）
ウエハ移載機（ウエハソーター）
本装置は、4ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer
- 企業：株式会社リバティー
- 価格：応相談
