ウエハ移載機
従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。 ■特長 ・省スペースなコンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。 ・検査ユニットとのドッキングが可能です。 ・対象ウエハは、100mm〜200mm オリフラ・ノッチに対応可能です。 ・ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供します。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。 ■特長 ・省スペースなコンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。 ・検査ユニットとのドッキングが可能です。 ・対象ウエハは、100mm〜200mm オリフラ・ノッチに対応可能です。 ・ロット分割・統合等、ユーザーのニーズに合わせた搬送モードを提供します。
価格情報
500万円〜
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途/実績例
特別仕様に対応致します。お気軽にお問合わせ下さい。
企業情報
システム開発を中心に半導体検査装置の開発・販売、ソフトウエアの開発等トータル的なシステム開発に力を注いでいます。 当社では、開発技術力を提供出来ることを誇りとしているので、開発費を頂くことなく、低価格で開発品をご提案致します。 当社では、開発案件を頂いたら、まず評価機を作製し、ご提案する独自の開発プロセスで開発を進めていきます。開発初期段階から顧客の要望を取入れ、顧客との連携を一番に考え開発を進めるので、顧客の仕様に合わせた顧客専用のカスタマイズ製品の提供が可能です。