ウエハ搬送に最適！ウエハ移載機
●ウエハとチャックとの接触面を最小限にすることにより、ウエハへのストレスや汚染を防止。 ●モータ駆動によりパーティクルの発生を予防。 ●独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボードへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。 ●オプションとして静電気除去装置も準備してます。
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基本情報
ウエハ移載機は、キャリアtoキャリア、キャリアto石英ボードなどのウエハ移載を目的とする装置です。
価格情報
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納期
用途／実績例
■関連取扱機器 ・キャリアtoキャリア移載機 ・ターンオーバー（face to face）移載機 ・運搬用キャリアtoライン用キャリア移載機 ・自動ウエハカウンター ・特別仕様対応可能
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企業情報
大宮工業株式会社は、精密測定機器、半導体及び液晶製造関連装置の 製造・販売及び回転機器メンテナンスを行っております。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。