ウェハ自動搬送装置 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

半導体製造関連　【半導体ウェハ自動搬送装置】

検査機に対して半導体ウェハを自動供給する装置です。除振機構を採用、検査時の振動を防ぎます。

キャリアからウェハを取り出し、プリアライメントで位置補正し、検査部にウェハを供給します。検査後、ウェハを自動退出させ、キャリアの元の位置へウェハを格納します。 ◇プリアライメント機構　XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上、吸着テーブル 当社は、開発・設計から組立、そして納品後のメンテナンスまで、一貫したサービスをご提供します。大切な設備に付加価値を与えて、お客様の省エネ化、省人化をサポートします。