検査機に対して半導体ウェハを自動供給する装置です。除振機構を採用、検査時の振動を防ぎます。
キャリアからウェハを取り出し、プリアライメントで位置補正し、検査部にウェハを供給します。検査後、ウェハを自動退出させ、キャリアの元の位置へウェハを格納します。 ◇プリアライメント機構 XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上、吸着テーブル 当社は、開発・設計から組立、そして納品後のメンテナンスまで、一貫したサービスをご提供します。大切な設備に付加価値を与えて、お客様の省エネ化、省人化をサポートします。
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基本情報
■FFU（クリーンファンユニット）付、完全密閉型クリーン環境検査。 ■除振機構 ■ウェハ有無の自動検出機能 ■プリアライメント機構 XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上、吸着テーブル。 ■ウェハ入れ替えタクトタイム：60秒 ■陽圧仕様 26.6ｘ10³ Pa程度 ■QRコード読み取り機能：ロット情報
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用途／実績例
検査機に対して半導体ウェハを自動供給する装置です。
企業情報
当社は、FAの自動化・省力化を進めるお客様に向けて、自動車などの制御装置＜ハードウェア・ソフトウェアの設計・製作及び電子回路設計＞、FA装置＜半導体製造用、カード製造用、画像検査、搬送装置など>をオーダーメイドで製作しています。 お客様の想いを形にすべく、開発、設計、組立調整、アフターメンテナンスまで、一貫したサービスをご提供し、幅広いFA業界のお客様にお引き立ていただいてます。 市場にない装置の開発、機能を最小限に厳選したコンパクトな設備、また、現在ご使用の設備を改造したいなどの、様々なお客様のご要望に弊社の技術と経験で対応致します。 お客様の省エネ化、省人化のサポートは、知識と経験を積んできました当社技術者にお任せください！