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エアスライドステージ(エアベアリング) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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高精度リニヤステージ エアースライドステージ

300mmサイズのワークのプロセスに最適!

リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して  石定盤で支えられており、高い移動平行度と剛性を確保 ○可動部・駆動部共に非接触  防塵効果や静粛化に貢献し、クリーンルーム内での使用も可能 ○可動部に全面浮上方式を採用  高剛性仕様が可能で、超高精度仕上げが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

  • その他半導体製造装置

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