オートフォーカス顕微鏡 LSAF1
単対物用のオートフォーカス顕微鏡です。 フォーカスステージつきでこのまま装置に取り付けるだけでAF顕微鏡となります。
特徴 1. 各種光学系に組込できるV型です。 2. ソフトで1μ以下の合焦精度でピントを自動制御します。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
オートフォーカス顕微鏡×株式会社アイティ・テック - 企業1社の製品一覧
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オートフォーカス顕微鏡 LSAF2
ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置
ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置です。 電動XYステージでワークを移動させても常に合焦画像でのパターンマッチング検査ができます。ファイルデータから座標を制御して検査に最適な倍率で試料高さのオートレビュー画像ファイル機能もあります。 検査後マクロMAPを表示して欠陥箇所確認ができます。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
