300ｍｍカセットレス洗浄装置
ファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用 ／ 50枚を一括処理 ／ 19nμm/5個の高清浄度を達成
＜装置概要＞ 本装置はファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用する装置です。特徴は25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理します。19nμm／5個の高清浄度を達成しています。
- 企業：株式会社ダン科学 入間営業所
- 価格：応相談
カセットレス洗浄機(搬送) - メーカー・企業と製品の一覧
カセットレス洗浄機の製品一覧
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カセットレス洗浄装置
品質と省エネを高い次元で両立。少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに
「カセットレス洗浄装置」は、ロボット搬送がスムーズでチッピングが 生じない、大幅なランニングコストの低減が可能な製品です。 ファインソニック(高周波発振器/振動子)を使用。ダメージを 与えることなくパーティクルの除去が可能です。 数々のスーパークリーンテクノロジーを採用し、洗浄におけるカセットの 問題点をすべて解決します。 【特長】 ■カセット接触部の洗浄ムラも解消 ■少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに ■消費電力を大幅にカット ■槽間移動時の薬液量を少量化 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社プレテック 静岡製作所
- 価格：応相談
