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カセット搬送システム - 企業1社の製品一覧

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SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応

  • その他半導体製造装置

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